VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивост на топлинен запас
●Силна адхезия към графит
●Конформно покритие на покритието
● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
● Индуктивен топлинен приемник
● Резистивен нагревателен елемент
● Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Водещият пръстен с TaC покритие е изработен от висококачествен графит и TaC покритие. При получаването на SiC кристали чрез PVT метод, водещият пръстен с покритие от TaC на VeTek Semiconductor се използва главно за насочване и контрол на въздушния поток, оптимизиране на процеса на растеж на единичен кристал и подобряване на добива на единичен кристал. С отлична технология за покритие TaC, нашите продукти имат отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия и добри механични свойства. Ние искрено приветстваме вашата консултация и очакваме с нетърпение да ви предоставим по-подробна информация за продукта и техническа поддръжка.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид в Китай, като се фокусира върху технологията за покритие TaC в продължение на много години. Нашите продукти имат висока чистота и отлична устойчивост на висока температура, които са широко признати от производителите на полупроводници. Планетарният ротационен диск VeTek Semiconductor с покритие от танталов карбид се превърна в гръбнака на индустрията за епитаксия на пластини. Очакваме с нетърпение да установим дългосрочно партньорство с вас за съвместно насърчаване на технологичния прогрес и оптимизиране на производството.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor внимателно е проектирал графитен носител с TaC покритие за клиенти. Състои се от графит с висока чистота и TaC покритие, което е подходящо за различни епитаксиални обработки на вафли. Ние сме специализирани в SiC и TaC покрития от много години. В сравнение със SiC покритие, нашият графитен носител с покритие от TaC има по-висока температурна устойчивост и устойчивост на износване. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване