У дома > Продукти > Покритие от танталов карбид

Китай Покритие от танталов карбид Производител, доставчик, фабрика

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.


Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.


Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.


Ключови характеристики:

 ●Температурна стабилност

 ●Ултра висока чистота

 ●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

 ●Устойчивост на топлинен запас

 ●Силна адхезия към графит

 ●Конформно покритие на покритието

 Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)


Приложения:

 ●Вафлен носител

 ● Индуктивен топлинен приемник

 ● Резистивен нагревателен елемент

 ●Сателитен диск

 ●Душ слушалка

 ●Водещ пръстен

 ●LED Epi приемник

 ●Инжекционна дюза

 ●Маскиращ пръстен

 ● Топлинен щит


Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност 14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност 0.3
Коефициент на термично разширение 6.3 10-6
Твърдост (HK) 2000 HK
Съпротива 1×10-5Ом*см
Термична стабилност <2500 ℃
Размерът на графита се променя -10~-20um
Дебелина на покритието ≥20um типична стойност (35um±10um)


TaC покритие EDX данни

EDX data of TaC coating


Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент Атомен процент
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Средно
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Водещ пръстен с TaC покритие

Водещ пръстен с TaC покритие

Водещият пръстен с TaC покритие е изработен от висококачествен графит и TaC покритие. При получаването на SiC кристали чрез PVT метод, водещият пръстен с покритие от TaC на VeTek Semiconductor се използва главно за насочване и контрол на въздушния поток, оптимизиране на процеса на растеж на единичен кристал и подобряване на добива на единичен кристал. С отлична технология за покритие TaC, нашите продукти имат отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия и добри механични свойства. Ние искрено приветстваме вашата консултация и очакваме с нетърпение да ви предоставим по-подробна информация за продукта и техническа поддръжка.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид

Планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид

VeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид в Китай, като се фокусира върху технологията за покритие TaC в продължение на много години. Нашите продукти имат висока чистота и отлична устойчивост на висока температура, които са широко признати от производителите на полупроводници. Планетарният ротационен диск VeTek Semiconductor с покритие от танталов карбид се превърна в гръбнака на индустрията за епитаксия на пластини. Очакваме с нетърпение да установим дългосрочно партньорство с вас за съвместно насърчаване на технологичния прогрес и оптимизиране на производството.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Графитен носител за пластини с TaC покритие

Графитен носител за пластини с TaC покритие

VeTek Semiconductor внимателно е проектирал графитен носител с TaC покритие за клиенти. Състои се от графит с висока чистота и TaC покритие, което е подходящо за различни епитаксиални обработки на вафли. Ние сме специализирани в SiC и TaC покрития от много години. В сравнение със SiC покритие, нашият графитен носител с покритие от TaC има по-висока температурна устойчивост и устойчивост на износване. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Като професионален Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Покритие от танталов карбид, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept