VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; Графитно покритие от TaC; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
Температурна стабилност
Ултра висока чистота
Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
Устойчивост на топлинен запас
Силна адхезия към графит
Конформно покритие на покритието
Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
Вафлен носител
Индуктивен топлинен приемник
Резистивен нагревателен елемент
Сателитен диск
Душ слушалка
Водещ пръстен
LED Epi приемник
Инжекционна дюза
Маскиращ пръстен
Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на водещи пръстени с TaC покритие в Китай. Ние сме специализирани в керамично покритие от много години. Водещите пръстени с TaC покритие се използват предимно за насочване и контрол на въздушния поток, като повишават добива на растеж на единични кристали. Добре дошли да ни попитате за допълнителна информация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид в Китай. Ние сме специализирани в керамично покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота и устойчивост на висока температура. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на графитни носители за пластини с TaC покритие в Китай. Ние сме специализирани в SiC и TaC покрития от много години. Нашите графитни носители за пластини с TaC покритие имат по-висока температурна устойчивост и устойчивост на износване. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване