VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; TaC покритие Графитно покритие; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивост на топлинен запас
●Силна адхезия към графит
●Конформно покритие на покритието
● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
● Индуктивен топлинен приемник
● Резистивен нагревателен елемент
● Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Порестият графит с TaC покритие е усъвършенстван материал за обработка на полупроводници, предоставен от VeTek Semiconductor. Porous Graphite with TaC Coated съчетава предимствата на покритието от порест графит и танталов карбид (TaC) с добра топлопроводимост и газопропускливост. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени и ние с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и новатор на покритие от танталов карбид в Китай. Ние се фокусираме върху осигуряването на продукти от танталов карбид с висока чистота и устойчивост на висока температура. Нашият капак с покритие от танталов карбид има отлична производителност и надеждност и може ефективно да защити материалите в изключително висока температура и корозивна среда. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеДефлекторният пръстен с TaC покритие на VeTek Semiconductor е високоспециализиран компонент, предназначен за процеси на растеж на SiC кристали. TaC покритието осигурява отлична устойчивост на висока температура и химическа инертност, за да се справи с високите температури и корозивните среди по време на процеса на растеж на кристалите. Това гарантира стабилна производителност и дълъг живот на компонента, намалявайки честотата на подмяна и прекъсване. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на тръби с покритие от танталов карбид за растеж на кристали в Китай. Ние сме специализирани в керамично покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота и устойчивост на висока температура. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е широкомащабен пръстен с TaC покритие за производител и иноватор на SiC епитаксиален реактор в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота, висока стабилност, отлична устойчивост на корозия, висока якост на свързване. Ние изглеждаме очакваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е широкомащабна полумесечна част с покритие от танталов карбид за LPE производител и иноватор в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти могат да издържат на температури над 2000 градуса по Целзий, удължават живота на консумативите. Очакваме с нетърпение да станете ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване