У дома > Продукти > Покритие от силициев карбид

Китай Покритие от силициев карбид Производител, доставчик, фабрика

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.


Реакторни части, които можем да направим:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Параметри на VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост Типична стойност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност 3,21 g/cm³
Твърдост 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване)
Размер на зърното 2~10 μm
Химическа чистота 99,99995%
Топлинен капацитет 640 J·kg-1·K-1
Температура на сублимация 2700 ℃
Якост на огъване 415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост 300W·m-1·K-1
Термично разширение (CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Патронник от силициев карбид

Патронник от силициев карбид

Като водещ производител и доставчик на продукти за патронник от силициев карбид за пластини в Китай, патронникът за пластини от силициев карбид на VeTek Semiconductor играе незаменима роля в процеса на епитаксиален растеж с отличната си устойчивост на висока температура, устойчивост на химическа корозия и устойчивост на термичен шок. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Душ слушалка от силициев карбид

Душ слушалка от силициев карбид

VeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на продукти за душ от силициев карбид в Китай. SiC душ слушалка има отлична толерантност към висока температура, химическа стабилност, топлопроводимост и добро разпределение на газа, което може да постигне равномерно разпределение на газа и да подобри качеството на филма. Поради това обикновено се използва при високотемпературни процеси като процеси на химическо отлагане на пари (CVD) или процеси на физическо отлагане на пари (PVD). Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Уплътнителен пръстен от силициев карбид

Уплътнителен пръстен от силициев карбид

Като професионален производител на уплътнителен пръстен от силициев карбид и фабрика в Китай, уплътнителният пръстен от силициев карбид VeTek Semiconductor се използва широко в оборудването за обработка на полупроводници поради отличната си устойчивост на топлина, устойчивост на корозия, механична якост и топлопроводимост. Той е особено подходящ за процеси, включващи високотемпературни и реактивни газове, като CVD, PVD и плазмено ецване, и е ключов избор на материал в процеса на производство на полупроводници. Вашите допълнителни запитвания са добре дошли.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Държач за пластини с SiC покритие

Държач за пластини с SiC покритие

VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на продукти за държачи за пластини със SiC покритие в Китай. Държачът за пластини с SiC покритие е държач за пластини за процеса на епитаксия при обработката на полупроводници. Това е незаменимо устройство, което стабилизира пластината и осигурява равномерно нарастване на епитаксиалния слой. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Поставка за вафли Epi

Поставка за вафли Epi

VeTek Semiconductor е професионален производител и фабрика на Epi Wafer Holder в Китай. Epi Wafer Holder е държач за пластини за процеса на епитаксия при обработката на полупроводници. Това е ключов инструмент за стабилизиране на пластината и осигуряване на равномерен растеж на епитаксиалния слой. Той се използва широко в оборудване за епитаксия като MOCVD и LPCVD. Това е незаменимо устройство в процеса на епитаксия. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Aixtron Satellite носител на пластини

Aixtron Satellite носител на пластини

Като професионален производител на Aixtron Satellite Wafer Carrier и новатор в Китай, Aixtron Satellite Wafer Carrier на VeTek Semiconductor е носител за пластини, използван в оборудването на AIXTRON, използван главно в MOCVD процеси в обработката на полупроводници и е особено подходящ за високотемпературни и прецизни процеси на обработка на полупроводници. Носителят може да осигури стабилна поддръжка на пластини и равномерно отлагане на филм по време на MOCVD епитаксиален растеж, което е от съществено значение за процеса на отлагане на слоя. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Като професионален Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Покритие от силициев карбид, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept