Патронник за покритие TaC

TaC Coating Chuck на VeTek Semiconductor е идеалното решение за постигане на изключителни резултати в SiC EPI процес. Със своето TaC покритие, устойчивост на висока температура и химическа инертност, нашият продукт ви дава възможност да произвеждате висококачествени кристали с прецизност и надеждност. Добре дошли да ни попитате.

TaC (танталов карбид) е материал, който обикновено се използва за покриване на повърхността на вътрешни части на епитаксиално оборудване. Има следните характеристики:

Отлична устойчивост на висока температура: TaC покритията могат да издържат на температури до 2200°C, което ги прави идеални за приложения в среда с висока температура, като епитаксиални реакционни камери.

Висока твърдост: Твърдостта на TaC достига около 3000-4000 HV, което е много по-твърдо от често използваната неръждаема стомана или алуминиева сплав, което може ефективно да предотврати износването на повърхността.

Силна химическа стабилност: TaC покритието се представя добре в химически корозивни среди и може значително да удължи експлоатационния живот на компонентите на епитаксиалното оборудване.

Добра електрическа проводимост: TaC покритието има добра електрическа проводимост, което е благоприятно за електростатично освобождаване и топлопроводимост.

Тези свойства правят TaC покритието идеален материал за производство на критични части като вътрешни втулки, стени на реакционна камера и нагревателни елементи за епитаксиално оборудване. Чрез покриване на тези компоненти с TaC може да се подобри цялостната производителност и експлоатационният живот на епитаксиалното оборудване.

За епитаксия от силициев карбид парчето TaC покритие също може да играе важна роля. Повърхността на TaC покритието е гладка и плътна, което благоприятства образуването на висококачествени филми от силициев карбид. В същото време отличната топлопроводимост на TaC може да помогне за подобряване на еднородността на разпределението на температурата вътре в оборудването, като по този начин подобрява точността на температурния контрол на епитаксиалния процес и в крайна сметка постига по-високо качество на растежа на епитаксиалния слой от силициев карбид.

Продуктов параметър на парчето покритие TaC:

Индустриална верига:

Производствен цех