VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; Графитно покритие от TaC; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
Температурна стабилност
Ултра висока чистота
Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
Устойчивост на топлинен запас
Силна адхезия към графит
Конформно покритие на покритието
Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
Вафлен носител
Индуктивен топлинен приемник
Резистивен нагревателен елемент
Сателитен диск
Душ слушалка
Водещ пръстен
LED Epi приемник
Инжекционна дюза
Маскиращ пръстен
Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Порестият графит с TaC покритие е усъвършенстван материал за обработка на полупроводници, предоставен от VeTek Semiconductor. Porous Graphite with TaC Coated съчетава предимствата на покритието от порест графит и танталов карбид (TaC) с добра топлопроводимост и газопропускливост. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени и ние с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и новатор на покритие от танталов карбид в Китай. Ние се фокусираме върху осигуряването на продукти от танталов карбид с висока чистота и устойчивост на висока температура. Нашият капак с покритие от танталов карбид има отлична производителност и надеждност и може ефективно да защити материалите в изключително висока температура и корозивна среда. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеДефлекторният пръстен с TaC покритие на VeTek Semiconductor е високоспециализиран компонент, предназначен за процеси на растеж на SiC кристали. TaC покритието осигурява отлична устойчивост на висока температура и химическа инертност, за да се справи с високите температури и корозивните среди по време на процеса на растеж на кристалите. Това гарантира стабилна производителност и дълъг живот на компонента, намалявайки честотата на подмяна и прекъсване. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на тръби с покритие от танталов карбид за растеж на кристали в Китай. Ние сме специализирани в керамично покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота и устойчивост на висока температура. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е широкомащабен пръстен с TaC покритие за производител и иноватор на SiC епитаксиален реактор в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота, висока стабилност, отлична устойчивост на корозия, висока якост на свързване. Ние изглеждаме очакваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е широкомащабна полумесечна част с покритие от танталов карбид за LPE производител и иноватор в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти могат да издържат на температури над 2000 градуса по Целзий, удължават живота на консумативите. Очакваме с нетърпение да станете ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване