Поддържаща плоча за пиедестал с покритие TaC

VeTek Semiconductor е производител и доставчик в Китай, който произвежда основно CVD TaC токопоприемници, входен пръстен, Wafer Chunck, държач с TaC покритие, опорна плоча за опора на TaC покритие с дългогодишен опит. Надяваме се да изградим бизнес отношения с вас.

TaC керамиката има точка на топене до 3880 ℃, висока твърдост (твърдост по Mohs 9 ~ 10), голяма топлопроводимост (22W·m-1·K−1), голяма якост на огъване (340 ~ 400MPa) и малко термично разширение коефициент (6,6 × 10−6K−1) и показват отлична термохимична стабилност и отлични физични свойства. Има добра химическа и механична съвместимост с графит и C/C композитни материали, така че TaC покритието се използва широко в космическата термична защита, растеж на единични кристали и епитаксиални реактори като Aixtron, LPE EPI реактор в полупроводниковата индустрия. Графитът с TaC покритие има по-добра устойчивост на химическа корозия от чисто каменно мастило или графит с покритие от SiC, може да се използва стабилно при висока температура 2200°, не реагира с много метални елементи, е трето поколение сцена за растеж на полупроводникови монокристали, епитаксия и ецване на пластини на покритие с най-добра производителност, може значително да подобри процеса на контрол на температурата и примесите, Подготовка на висококачествени пластини от силициев карбид и свързани с тях епитаксиални пластини. Той е особено подходящ за отглеждане на GaN или AlN монокристал в MOCVD оборудване и SiC монокристал в PVT оборудване, като качеството на отглеждания монокристал е очевидно подобрено.

TaC покритие и SiC покритие Резервни части, които можем да направим:

Параметър на TaC покритие:

Индустриална верига:

Производствен цех