VeTek Semiconductor е вашият иновативен партньор в областта на обработката на полупроводници. С нашето обширно портфолио от комбинации от материали от силициев карбид керамика от полупроводников клас, възможности за производство на компоненти и инженерни услуги за приложения, ние можем да ви помогнем да преодолеете значителни предизвикателства. Инженерно-техническа керамика от силициев карбид се прилага широко в полупроводниковата индустрия поради изключителните си характеристики на материала. Свръхчистата керамика от силициев карбид на VeTek Semiconductor се използва често през целия цикъл на производство и обработка на полупроводници.
VeTek Semiconductor предоставя инженерни керамични компоненти, специално проектирани за партидна дифузия и изисквания за LPCVD, включително:
• Прегради и държачи
• Инжектори
• Облицовки и технологични тръби
• Конзолни гребла от силициев карбид
• Вафлени лодки и постаменти
SiC конзолна гребло
SiC технологични тръби
Процесорна тръба от силициев карбид
SiC вертикална вафлена лодка
SiC хоризонтална вафлена лодка
SiC хоризонтална квадратна вафлена лодка
SiC LPCVD вафлена лодка
Хоризонтална лодка от SiC
SiC кръгла вафлена лодка
Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване, включително:
Фокусни пръстени
Дюзи
Щитове
Душове
Прозорци / капаци
Други персонализирани компоненти
VeTek Semiconductor предоставя усъвършенствани материални компоненти, пригодени за приложения при високотемпературна термична обработка в полупроводниковата индустрия. Тези приложения включват RTP, Epi процеси, дифузия, окисляване и отгряване. Нашата техническа керамика е проектирана да издържа на термични удари, осигурявайки надеждна и постоянна работа. С компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници могат да постигнат ефективна и висококачествена термична обработка, допринасяйки за цялостния успех на производството на полупроводници.
• Дифузори
• Изолатори
• Токоприемници
• Други термични компоненти по поръчка
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Имот | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Без съдържание на Si | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°С |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добър |
VeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай на лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ, с дългогодишен опит в научноизследователската и развойната дейност и производството, може да контролира добре качеството и да предложи конкурентна цена. Можете да бъдете спокойни, че ще закупите лодката за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ от нас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай за вафли от силициев карбид с покритие от SiC, с дългогодишен опит в научноизследователската и развойната дейност и производството, може да контролира добре качеството и да предложи конкурентна цена. Добре дошли за посещение на нашата фабрика и за по-нататъшно обсъждане на сътрудничеството.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКонзолната лопатка от силициев карбид на VeTek Semiconductor е важен компонент в процеса на производство на полупроводници, особено подходящ за дифузионни пещи или LPCVD пещи при високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Нашата конзолна гребло от силициев карбид е внимателно проектирана и произведена с отлична устойчивост на висока температура и механична якост и може безопасно и надеждно да транспортира пластини към технологичната тръба при тежки условия на процеса за различни високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier са важни компоненти в обработката на полупроводници, предназначени за безопасно задържане и транспортиране на деликатни силициеви пластини, играейки ключова роля във всички етапи на производството. Носачът за пластини от силициев карбид с висока чистота на VeTek Semiconductor е внимателно проектиран и произведен, за да осигури отлична производителност и надеждност. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени и ние с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеВафлената лодка от силициев карбид с висока чистота на VeTek Semiconductor е направена от изключително чист материал от силициев карбид с отлична термична стабилност, механична якост и химическа устойчивост. Пластината от силициев карбид с висока чистота се използва в приложения с горещи зони в производството на полупроводници, особено във високотемпературни среди, и играе важна роля в защитата на пластините, транспортирането на материали и поддържането на стабилни процеси. VeTek Semiconductor ще продължи да работи усилено за иновации и подобряване на производителността на лодката от силициев карбид с висока чистота, за да отговори на развиващите се нужди на производството на полупроводници. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик, посветен на предоставянето на висококачествен прах от ултра чист силициев карбид за растеж на кристали. С чистота до 99,999% тегл. и изключително ниски нива на примеси от азот, бор, алуминий и други замърсители, той е специално проектиран да подобри полуизолационните свойства на силициевия карбид с висока чистота. Добре дошли да попитате и да си сътрудничите с нас!
Прочетете ощеИзпратете запитване