Въртяща се плоча с покритие TaC

Въртящата се плоча с TaC покритие на VeTek Semiconductor има състав с висока чистота, съдържание на примеси по-малко от 5ppm и плътна и равномерна структура, която се използва широко в LPE EPI системи, Aixtron системи, Nuflare системи, TEL CVD системи, VEECO системи, TSI системи.

Отлични механични свойства:

Твърдост на покритието до 2300HV, с отлична устойчивост на износване.

Адхезията между покритието и основата е силна и не е лесно да падне или да се отлепи.

Покритието все още може да поддържа добра структурна стабилност при висока температура.

Отлична устойчивост на корозия:

Самият материал TaC има отлична химическа стабилност и устойчивост на корозия.

Полупроводниковите покрития на VeTek се представят добре в различни агресивни газови среди.

Може ефективно да защити вътрешните компоненти на оборудването от повреда от корозия.

Високо повърхностно покритие:

VeTek semiconductor използва прецизен процес на нанасяне на покритие, за да произведе желаното покритие.

Ниската грапавост на повърхността спомага за намаляване на натрупването и отлагането на частици.

Консистенцията на покритието е добра:

VeTek Semiconductor има система за контрол на качеството на звука, за да осигури постоянна производителност между партидите.

Дебелината на покритието е равномерно разпределена и няма видими локални дефекти.

Отлично практическо приложение:

TaC покритието на VeTek semiconductor се използва широко в много известни производители на епитаксиално оборудване в страната и чужбина.

Продуктов параметър на ротационната плоча с покритие от TaC:

Индустриална верига:

Производствен цех