VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; TaC покритие Графитно покритие; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивост на топлинен запас
●Силна адхезия към графит
●Конформно покритие на покритието
● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
● Индуктивен топлинен приемник
● Резистивен нагревателен елемент
● Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Пръстенът с CVD TaC покритие на VeTek Semiconductor е изключително полезен компонент, проектиран да отговори на взискателните изисквания на процесите на растеж на кристали от силициев карбид (SiC). CVD TaC Coating Ring осигурява изключителна устойчивост на висока температура и химическа инертност, което го прави идеален избор за среди, характеризиращи се с повишени температури и корозивни условия. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеLPE SiC Epi Halfmoon от VeTek Semiconductor, революционен продукт, предназначен да подобри процесите на SiC епитаксия в LPE реактор. Това авангардно решение може да се похвали с няколко ключови характеристики, които гарантират превъзходна производителност и ефективност във вашите производствени операции. Очакваме с нетърпение да установим дългосрочно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ доставчик на TaC покрития и графитни части с покритие SiC. Ние сме специализирани в производството на авангардни LED EPI токоприемници, които са от съществено значение за процесите на LED епитаксия. Със силен фокус върху иновациите и качеството, ние предлагаме надеждни решения, които отговарят на строгите изисквания на LED индустрията. Свържете се с нас днес, за да обсъдим вашите запитвания и да разберете как нашите продукти могат да подобрят вашите производствени процеси.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е цялостен доставчик, участващ в изследванията, разработването, производството, проектирането и продажбите на TaC покрития и SiC покрития. Нашият опит се крие в производството на най-съвременните MOCVD Susceptor с TaC покритие, които играят жизненоважна роля в процеса на LED епитаксия. Приветстваме ви да обсъдите с нас запитвания и допълнителна информация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е интегриран доставчик, занимаващ се с изследване и развитие, производство, проектиране и продажба на TaC покрития. Ние сме специализирани в производството на режещи ръбове TaC покрити UV LED токоприемници, които са ключови компоненти в процеса на LED епитаксия. Нашият TaC покритие Deep UV LED Susceptor предлага висока топлопроводимост, висока механична якост, подобрена производствена ефективност и епитаксиална защита на пластини. Добре дошли да ни попитате.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещият производител и доставчик в Китай на Halfmoon с покритие от танталов карбид TaC, ние сме специализирани в научноизследователска и развойна дейност и производство, можем да контролираме добре качеството и да предложим конкурентна цена. Добре дошли сте да посетите нашата фабрика за по-нататъшно обсъждане на дългосрочно сътрудничество.
Прочетете ощеИзпратете запитване