VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; Графитно покритие от TaC; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
Температурна стабилност
Ултра висока чистота
Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
Устойчивост на топлинен запас
Силна адхезия към графит
Конформно покритие на покритието
Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
Вафлен носител
Индуктивен топлинен приемник
Резистивен нагревателен елемент
Сателитен диск
Душ слушалка
Водещ пръстен
LED Epi приемник
Инжекционна дюза
Маскиращ пръстен
Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на пръстени с три венчелистчета с TaC покритие в Китай. Ние сме специализирани в TaC и SiC покрития от много години. Нашите продукти имат устойчивост на корозия и висока якост. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на патронници с покритие от танталов карбид в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота и устойчивост на висока температура до 2000 ℃. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен план партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на покритие с покритие от танталов карбид в Китай. Ние сме специализирани в TaC и SiC покрития от много години. Нашите продукти имат устойчивост на корозия, висока якост. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ доставчик на персонализиран Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon в Китай, специализиран в модерни материали от много години. Нашият Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon е специално проектиран за SiC епитаксиално оборудване, осигурявайки отлична производителност. Изработен от изключително чист вносен графит, той предлага надеждност и издръжливост. Посетете нашата фабрика в Китай, за да проучите от първа ръка нашия висококачествен Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ доставчик на персонализирана Upper Halfmoon Part SiC покритие в Китай, специализирана в модерни материали от над 20 години. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC с покритие е специално проектирано за SiC епитаксиално оборудване, служещо като решаващ компонент в реакционната камера. Изработен от изключително чист графит с полупроводников клас, той осигурява отлична производителност. Каним ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ персонализиран доставчик на силициев карбид епитакси вафлен носител в Китай. Ние сме специализирани в усъвършенствани материали повече от 20 години. Ние предлагаме силициев карбид епитакси вафлен носител за носене на SiC субстрат, нарастващ SiC епитаксиален слой в SiC епитаксиален реактор. Този носител на пластини от силициев карбид епитакси е важна част с покритие от SiC на полумесец, устойчивост на висока температура, устойчивост на окисление, устойчивост на износване. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване