VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; Графитно покритие от TaC; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
Температурна стабилност
Ултра висока чистота
Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
Устойчивост на топлинен запас
Силна адхезия към графит
Конформно покритие на покритието
Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
Вафлен носител
Индуктивен топлинен приемник
Резистивен нагревателен елемент
Сателитен диск
Душ слушалка
Водещ пръстен
LED Epi приемник
Инжекционна дюза
Маскиращ пръстен
Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Като професионален иноватор и лидер на продуктите с пръстен с покритие от танталов карбид в Китай, VeTek полупроводников пръстен с покритие от танталов карбид играе незаменима роля в растежа на кристалите SiC с отличната си устойчивост на висока температура, устойчивост на износване и отлична топлопроводимост. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на продукти от порест танталов карбид в Китай. Порестият танталов карбид обикновено се произвежда чрез метод на химическо отлагане на пари (CVD), осигуряващ прецизен контрол на неговия размер и разпределение на порите, и е материален инструмент, предназначен за екстремни среди с висока температура. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато усъвършенстван производител и производител на продукти от танталов карбид пръстен в Китай, VeTek Semiconductor танталов карбид пръстен има изключително висока твърдост, устойчивост на износване, устойчивост на висока температура и химическа стабилност и се използва широко в областта на производството на полупроводници. Особено при CVD, PVD, процес на йонна имплантация, процес на ецване и обработка и транспортиране на пластини, той е незаменим продукт за обработка и производство на полупроводници. Очакваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител на продукти за поддръжка на танталов карбид и фабрика в Китай, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support обикновено се използва за повърхностно покритие на структурни компоненти или поддържащи компоненти в полупроводниково оборудване, особено за повърхностна защита на ключови компоненти на оборудването в производствени процеси на полупроводници, като напр. CVD и PVD. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на продукти с водещи пръстени от танталов карбид в Китай. Нашият водещ пръстен от танталов карбид (TaC) е пръстеновиден компонент с висока производителност, изработен от танталов карбид, който обикновено се използва в оборудване за обработка на полупроводници, особено при висока температура и силно корозивни среди като CVD, PVD, ецване и дифузия. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя напреднали технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия и приветства вашите допълнителни запитвания.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител, новатор и лидер на TaC Coating Rotation Susceptor продукти в Китай. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor обикновено се инсталира в оборудване за химическо отлагане на пари (CVD) и епитаксия с молекулярни лъчи (MBE), за да поддържа и върти пластини, за да осигури равномерно отлагане на материала и ефективна реакция. Това е ключов компонент в обработката на полупроводници. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитване