Графитен носител за пластини с TaC покритие

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на графитни носители за пластини с TaC покритие в Китай. Ние сме специализирани в SiC и TaC покрития от много години. Нашите графитни носители за пластини с TaC покритие имат по-висока температурна устойчивост и устойчивост на износване. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Можете да бъдете сигурни, че ще закупите персонализиран графитен носител с TaC покритие от VeTek Semiconductor. Очакваме с нетърпение да си сътрудничим с вас, ако искате да научите повече, можете да се консултирате с нас сега, ние ще ви отговорим навреме!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier взаимодейства директно с вафлите в реактора за епитаксия, повишавайки ефективността и производителността. С опцията за покритие от силициев карбид или танталов карбид, VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier предлага удължен живот, до 2-3 пъти по-дълъг с танталов карбид. Съвместим с различни модели машини, включително LPE SiC епитаксиални пещи, JSG, епитаксиални пещи NASO.

VeTek Semiconductor TaC-покрит графитен носител осигурява прецизна стехиометрия на реакцията, предотвратява миграцията на примеси и поддържа температурна стабилност над 2000°C. Проявява забележителна устойчивост на H2, NH3, SiH4 и Si, предпазвайки от сурови химически среди. Издържащ на термични удари, той позволява бързи работни цикли без разслояване на покритието.

Покритието VeTek Semiconductor TaC гарантира ултра-висока чистота, елиминира примесите и осигурява конформно покритие, отговарящо на строги толеранси на размерите. С усъвършенстваните възможности за обработка на графит на VeTek Semiconductor, ние сме оборудвани да отговорим на вашите нужди за персонализиране. Независимо дали се нуждаете от услуги за нанасяне на покритие или цялостни решения, нашият екип от експертни инженери е готов да проектира идеалното решение за вашите конкретни приложения. Доверете ни се, за да доставим висококачествени продукти, съобразени с вашите изисквания и очаквания.

PVT метод SiC кристален растеж

Продуктов параметър на графитния вафлен носител с TaC покритие

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10-6/K
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10-5 Ohm*cm
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

Цех за производство на полупроводници VeTek

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове:

Горещи маркери: Графитен носач за пластини с TaC покритие, Китай, производител, доставчик, фабрика, персонализиран, купува, усъвършенстван, издръжлив, произведен в Китай

Продуктов етикет

Свързана категория