VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; Графитно покритие от TaC; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
Температурна стабилност
Ултра висока чистота
Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
Устойчивост на топлинен запас
Силна адхезия към графит
Конформно покритие на покритието
Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
Вафлен носител
Индуктивен топлинен приемник
Резистивен нагревателен елемент
Сателитен диск
Душ слушалка
Водещ пръстен
LED Epi приемник
Инжекционна дюза
Маскиращ пръстен
Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Въртящата се плоча с TaC покритие на VeTek Semiconductor може да се похвали с изключително TaC покритие. Със своето изключително TaC покритие, ротационната плоча с TaC покритие може да се похвали със забележителна устойчивост на висока температура и химическа инертност, които я отличават от традиционните решения. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени цени и очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеTaC Coating Plate на VeTek Semiconductor е забележителен продукт, който предлага изключителни характеристики и предимства. Проектирана с прецизност и проектирана до съвършенство, нашата плоча за покритие TaC е специално пригодена за различни приложения в процесите на растеж на монокристален силициев карбид (SiC). Прецизните размери и здравата конструкция на плочата за покритие TaC я правят лесна за интегриране в съществуващи системи, осигурявайки безпроблемна съвместимост и ефективна работа. Неговата надеждна производителност и висококачествено покритие допринасят за постоянни и еднакви резултати в приложенията за растеж на кристали SiC. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПокритието CVD TaC, предоставено от VeTek Semiconductor, е високоспециализиран компонент, проектиран специално за взискателни приложения. Със своите усъвършенствани функции и изключителна производителност, нашето покритие с CVD TaC покритие предлага няколко ключови предимства. Нашето покритие с CVD TaC покритие осигурява необходимата защита и производителност, необходими за успех. Очакваме с нетърпение да проучим потенциалното сътрудничество с вас!
Прочетете ощеИзпратете запитванеPlanetary Susceptor с покритие VeTek Semiconductor'TaC е изключителен продукт за оборудване за епитаксия на Aixtron. Здравото TaC покритие осигурява отлична устойчивост на висока температура и химическа инертност. Тази уникална комбинация гарантира надеждна производителност и дълъг експлоатационен живот, дори и в взискателни среди. VeTek се ангажира да предоставя висококачествени продукти и да служи като дългосрочен партньор на китайския пазар с конкурентни цени.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПоддържащата плоча с покритие TaC на VeTek Semiconductor е продукт с висока точност, проектиран да отговаря на специфичните изисквания на процесите на епитаксия на полупроводници. Със своето TaC покритие, устойчивост на висока температура и химическа инертност, нашият продукт ви дава възможност да произвеждате висококачествени EPI слоеве с високо качество. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПатронникът за TaC покритие на VeTek Semiconductor разполага с висококачествено TaC покритие, известно със своята изключителна устойчивост на висока температура и химическа инертност, особено в процесите на епитаксия (EPI) със силициев карбид (SiC). Със своите изключителни характеристики и превъзходна производителност, нашият патронник с покритие TaC предлага няколко ключови предимства. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване