Патронник от силициев карбид

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck използва отличните свойства на силициево-карбидните материали, за да отговори на строгите изисквания на производството на полупроводници, особено при обработката на полупроводници, която изисква изключително висока прецизност и надеждност.

В процеса на обработка на полупроводници,Силициев карбидима отлична устойчивост на висока температура (може да работи стабилно при до 1400°C), ниска проводимост (SiC има относително ниска проводимост, обикновено 10^^-3S/m) и нисък коефициент на топлинно разширение (около 4,0 × 10^^-6/°C), който е незаменим и важен материал, особено подходящ за производството на пластинчат патронник от силициев карбид.

По време напроцес на епитаксиален растежтънък слой от полупроводников материал се отлага върху субстрат, което изисква абсолютна стабилност от пластината, за да се осигурят равномерни и висококачествени слоеве на отлагане на филм. Вакуумният патронник SiC постига това чрез създаване на стабилно, постоянно вакуумно задържане, за да се предотврати всяко движение или деформация на пластината.

Патронникът от силициев карбид също така предлага отлична устойчивост на термичен удар. Бързите температурни промени са често срещани при производството на полупроводници и материалите, които не могат да издържат на тези колебания, могат да се напукат, огънат или да се повредят. Силициевият карбид има нисък коефициент на топлинно разширение и може да поддържа формата и функцията си дори при драстични температурни промени, като гарантира, че пластината остава сигурна по време на процеса на епитаксия без движение или разместване.

Освен това,процес на епитаксиячесто включва реактивни газове и други корозивни химикали. Химическата инертност на SiC Wafer Chuck гарантира, че той не е засегнат от тези тежки среди, като поддържа неговата производителност и удължава експлоатационния му живот. Тази химическа издръжливост не само намалява честотата на смяната на Wafer Chuck, но също така осигурява постоянна производителност на продукта през множество производствени цикли, като спомага за подобряване на цялостната ефективност и рентабилността на процеса на производство на полупроводници.

VeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на продукти за патронници от силициев карбид в Китай. Ние можем да предоставим различни видове продукти на Chuck, като напрКерамичен патронник от порест SiC, Вакуумен патронник от порест SiC, Вакуумен патронник от пореста керамикаиПатронник с TaC покритие, и т.н. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

SEM ДАННИ НА ССЗSIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА：

Магазини за вафлени патронници от силициев карбид VeTek Semiconductor：