VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; Графитно покритие от TaC; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
Температурна стабилност
Ултра висока чистота
Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
Устойчивост на топлинен запас
Силна адхезия към графит
Конформно покритие на покритието
Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
Вафлен носител
Индуктивен топлинен приемник
Резистивен нагревателен елемент
Сателитен диск
Душ слушалка
Водещ пръстен
LED Epi приемник
Инжекционна дюза
Маскиращ пръстен
Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Пръстенът с CVD TaC покритие на VeTek Semiconductor е изключително полезен компонент, проектиран да отговори на взискателните изисквания на процесите на растеж на кристали от силициев карбид (SiC). CVD TaC Coating Ring осигурява изключителна устойчивост на висока температура и химическа инертност, което го прави идеален избор за среди, характеризиращи се с повишени температури и корозивни условия. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеLPE SiC Epi Halfmoon от VeTek Semiconductor, революционен продукт, предназначен да подобри процесите на SiC епитаксия в LPE реактор. Това авангардно решение може да се похвали с няколко ключови характеристики, които гарантират превъзходна производителност и ефективност във вашите производствени операции. Очакваме с нетърпение да установим дългосрочно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ доставчик на TaC покрития и графитни части с покритие SiC. Ние сме специализирани в производството на авангардни LED EPI токоприемници, които са от съществено значение за процесите на LED епитаксия. Със силен фокус върху иновациите и качеството, ние предлагаме надеждни решения, които отговарят на строгите изисквания на LED индустрията. Свържете се с нас днес, за да обсъдим вашите запитвания и да разберете как нашите продукти могат да подобрят вашите производствени процеси.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е цялостен доставчик, участващ в изследванията, разработването, производството, проектирането и продажбите на TaC покрития и SiC покрития. Нашият опит се крие в производството на най-съвременните MOCVD Susceptor с TaC покритие, които играят жизненоважна роля в процеса на LED епитаксия. Приветстваме ви да обсъдите с нас запитвания и допълнителна информация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е интегриран доставчик, занимаващ се с изследване и развитие, производство, проектиране и продажба на TaC покрития. Ние сме специализирани в производството на режещи ръбове TaC покрити UV LED токоприемници, които са ключови компоненти в процеса на LED епитаксия. Нашият TaC покритие Deep UV LED Susceptor предлага висока топлопроводимост, висока механична якост, подобрена производствена ефективност и епитаксиална защита на пластини. Добре дошли да ни попитате.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещият производител и доставчик в Китай на Halfmoon с покритие от танталов карбид TaC, ние сме специализирани в научноизследователска и развойна дейност и производство, можем да контролираме добре качеството и да предложим конкурентна цена. Добре дошли сте да посетите нашата фабрика за по-нататъшно обсъждане на дългосрочно сътрудничество.
Прочетете ощеИзпратете запитване