VeTek Semiconductor е широкомащабна полумесечна част с покритие от танталов карбид за LPE производител и иноватор в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти могат да издържат на температури над 2000 градуса по Целзий, удължават живота на консумативите. Очакваме с нетърпение да станете ваш дългосрочен партньор в Китай.
Като професионален производител, VeTek Semiconductor би искал да ви предостави висококачествена полумесечна част с покритие от танталов карбид за LPE.
VeTek Semiconductor е професионален лидер в Китай SiC, TaC покритие, производител на твърд SiC с високо качество и разумна цена. Нашата част Halfmoon с покритие от танталов карбид за LPE се използва в реакционната камера на оборудване за хоризонтална и вертикална епитаксия за носене на субстрат, контрол на температурата, топлина запазване, вентилация, защита и други функции, така че съвместно да контролират дебелината, допинга, дефектите и други характеристики на материала на растежа на SiC епитаксиален слой вътре в реакционната камера.
Продукти, свързани с VeTek Semiconductor: горен полумесец, долен полумесец, защитно покритие, изолационно покритие, интерфейс за отклоняване на технологичен въздух. Нашата компания се ангажира да предоставя на клиентите пълна гама от решения за компоненти с покритие от SiC и TaC покритие за реакционна камера.
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/K |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5 Ohm*cm |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |