Пръстен с TaC покритие за SiC епитаксиален реактор

VeTek Semiconductor е широкомащабен пръстен с TaC покритие за производител и иноватор на SiC епитаксиален реактор в Китай. Ние сме специализирани в TaC покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота, висока стабилност, отлична устойчивост на корозия, висока якост на свързване. Ние изглеждаме очакваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Представяне на продукта на пръстена с TaC покритие за SiC епитаксиален реактор

VeTek Semiconductor е реномирана компания, базирана в Китай, известна със своя опит в производството на висококачествени TaC и SiC покрития, както и пръстен с TaC покритие с висока чистота за SiC епитаксиален реактор. Ние се гордеем с предлагането на превъзходни продукти на конкурентни цени. Горещо ви каним да се свържете с нас и да откриете изключителните решения, които предлагаме.

Нашите пръстени с TaC покритие за SiC епитаксиални реактори играят решаваща роля. Тези пръстени са неразделна част от нашия комплект полумесец, предлагайки основни функции като поддръжка на субстрата, прецизен контрол на температурата, ефективна топлоизолация, ефективна вентилация и надеждна защита. Работейки хармонично, тези пръстени осигуряват прецизен контрол върху дебелината, допинга и дефектните характеристики на SiC епитаксиалния слой, отгледан в реакционната камера.

В допълнение към нашите изключителни пръстени с TaC покритие, VeTek Semiconductor предлага широка гама от свързани продукти, специално проектирани за реакционни камери. Нашата продуктова гама включва горни и долни полумесеци, защитни капаци, изолационни капаци и интерфейси за отклоняване на технологичен въздух. Всеки от тези компоненти се подлага на щателно SiC или TaC покритие, за да се подобри производителността и да се удължи живота им.

Продуктов параметър на пръстена с TaC покритие за SiC епитаксиален реактор

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10-6/K
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10-5 Ohm*cm
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

Цех за производство на полупроводници VeTek

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове:

Горещи маркери: Пръстен с TaC покритие за SiC епитаксиален реактор, Китай, производител, доставчик, фабрика, персонализиран, купува, усъвършенстван, издръжлив, произведен в Китай

Продуктов етикет

Свързана категория