MOCVD ток с TaC покритие

VeTek Semiconductor е водещ китайски производител, доставчик и износител, специализиран в MOCVD Susceptor с TaC покритие. Вие сте добре дошли да дойдете в нашата фабрика, за да закупите най-новите продавани, ниски цени и висококачествени MOCVD токоприемници с TaC покритие. Очакваме с нетърпение да си сътрудничим с вас.

LED епитаксията е изправена пред предизвикателства като контрол на качеството на кристалите, избор на материал и съвпадение, структурен дизайн и оптимизация, контрол на процеса и последователност и ефективност на извличане на светлина. Изборът на правилния материал за епитаксиален носител на пластина е от решаващо значение, а покритието му с тънък филм от танталов карбид (TaC) (покритие TaC) предоставя допълнителни предимства.

При избора на материал за носител за епитаксиална пластина трябва да се имат предвид няколко ключови фактора:

Температурна толерантност и химическа стабилност: LED епитаксиалните процеси включват високи температури и може да включват използването на химикали. Следователно е необходимо да се изберат материали с добра температурна поносимост и химическа стабилност, за да се гарантира стабилността на носителя при висока температура и химическа среда.

Равност на повърхността и устойчивост на износване: Повърхността на носителя на епитаксиалната пластина трябва да има добра плоскост, за да осигури равномерен контакт и стабилен растеж на епитаксиалната пластина. Освен това устойчивостта на износване е важна за предотвратяване на повреди и абразия на повърхността.

Топлинна проводимост: Изборът на материал с добра топлопроводимост спомага за ефективното разсейване на топлината, като поддържа стабилна температура на растеж за епитаксиалния слой и подобрява стабилността и консистенцията на процеса.

В това отношение покриването на носителя за епитаксиална пластина с TaC предлага следните предимства:

Стабилност при висока температура: TaC покритието показва отлична стабилност при висока температура, което му позволява да запази своята структура и производителност по време на процеси на високотемпературна епитаксия и осигурява превъзходна температурна толерантност.

Химическа стабилност: TaC покритието е устойчиво на корозия от обикновени химикали и атмосфери, като предпазва носителя от химическо разграждане и повишава неговата издръжливост.

Твърдост и устойчивост на износване: TaC покритието притежава висока твърдост и устойчивост на износване, укрепва повърхността на епитаксиалния носител на вафла, намалявайки щетите и износването и удължавайки живота му.

Термична проводимост: TaC покритието демонстрира добра топлопроводимост, подпомагайки разсейването на топлината, поддържайки стабилна температура на растеж за епитаксиалния слой и подобрявайки стабилността и консистенцията на процеса.

Ето защо, изборът на епитаксиален носител за пластини с TaC покритие помага за справяне с предизвикателствата на LED епитаксията, отговаряйки на изискванията за висока температура и химическа среда. Това покритие предлага предимства като стабилност при висока температура, химическа стабилност, твърдост и устойчивост на износване и топлопроводимост, допринасяйки за подобрена производителност, продължителност на живота и ефективност на производството на носителя за епитаксиални пластини.

Основни физични свойства на TaC покритието:

Цех за производство на полупроводници VeTek

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове: