VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; TaC покритие Графитно покритие; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивост на топлинен запас
●Силна адхезия към графит
●Конформно покритие на покритието
● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
● Индуктивен топлинен приемник
● Резистивен нагревателен елемент
● Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на CVD TaC Coating Crucible продукти в Китай. CVD TaC Coating Crucible е базиран на покритие от танталов въглерод (TaC). Танталовото въглеродно покритие е равномерно покрито върху повърхността на тигела чрез процес на химическо отлагане на пари (CVD), за да се повиши неговата топлоустойчивост и устойчивост на корозия. Това е материален инструмент, използван специално в екстремни среди с висока температура. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител на CVD TaC Coating Wafer Carrier продукт и фабрика в Китай, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier е инструмент за носене на вафли, специално проектиран за висока температура и корозивни среди в производството на полупроводници. и CVD TaC Coating Wafer Carrier има висока механична якост, отлична устойчивост на корозия и термична стабилност, осигурявайки необходимата гаранция за производство на висококачествени полупроводникови устройства. Вашите допълнителни запитвания са добре дошли.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и новатор на TaC Coating Heater в Китай. Този продукт има изключително висока точка на топене (около 3880°C). Високата точка на топене на TaC Coating Heater му позволява да работи при изключително високи температури, особено при растежа на епитаксиални слоеве от галиев нитрид (GaN) в процеса на металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD). VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на патронници с TaC покритие в Китай, патронниците с TaC покритие на VeTek Semiconductor са специално проектирани за полупроводникови пещи. Със своята устойчивост на висока температура, химическа инертност и отлична производителност, иновативната технология на Vetek Semiconductor осигурява надеждно решение за индустрията за производство на полупроводници за осигуряване на висококачествени производствени стандарти. Ние вярваме, че нашите продукти могат да ви донесат напреднали технологии и висококачествени продуктови решения.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на тръби с покритие от TaC в Китай, тръбата с покритие от TaC на VeTek Semiconductor е ключов компонент за успешното израстване на монокристали от силициев карбид. Със своята устойчивост на висока температура, химическа инертност и отлична производителност, той осигурява производството на висококачествени кристали с постоянни резултати. Доверете се на нашите иновативни решения, за да подобрите процеса на растеж на кристали от SiC чрез PVT метод и да постигнете отлични резултати. Добре дошли да ни изпратите запитване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител, иноватор и лидер на CVD TAC Coating в Китай. В продължение на много години ние се фокусираме върху различни продукти за CVD TAC покритие, като CVD TaC покритие, пръстен за CVD TaC покритие, носител за CVD TaC покритие и т.н. консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитване