VeTek Semiconductor е водещият производител и доставчик в Китай на Halfmoon с покритие от танталов карбид TaC, ние сме специализирани в научноизследователска и развойна дейност и производство, можем да контролираме добре качеството и да предложим конкурентна цена. Добре дошли сте да посетите нашата фабрика за по-нататъшно обсъждане на дългосрочно сътрудничество.
VeTek Semiconductor е професионален китайски производител и доставчик на Halfmoon с покритие от танталов карбид TaC. VeTek Semiconductor предлага TaC Coated Halfmoon от танталов карбид, който играе поддържаща и транспортна роля в епитаксиалния процес на силициевия карбид, той не само поддържа субстрата, но също така осигурява плоска основа, позволявайки на епитаксия да расте равномерно върху него.
Качеството и производителността на частта полумесец пряко влияят върху качеството и производителността на пластината по време на епитаксиалния процес на силициев карбид. Следователно проектирането и изборът на подходяща част от полумесец е от решаващо значение за успеха на епитаксиалния процес на SiC. Полумесецът с покритие от танталов карбид TaC, произведен от VeTek Semiconductor, може да подобри своята устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия и устойчивост на износване, значително подобрявайки стабилността и продължителността на живота на компонента полумесец по време на процеса на растеж.
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/K |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5 Ohm*cm |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
1. Устойчивост на висока температура
2. Висока устойчивост на корозия
3. Висока твърдост и устойчивост на износване
4. Добра топлопроводимост
5. Добра химическа инертност