Подложка за покритие от танталов карбид

Основната функция на VeTek SemiconductorПокритие от танталов карбид (TaC).Подкрепата е за подобряване наустойчивост на топлина, устойчивост на износване и устойчивост на корозияна субстрата чрез покриване на слой от покритие от танталов карбид, така че да се подобри точността и надеждността на процеса и да се удължи експлоатационният живот на компонентите. Това е високоефективен продукт за покритие, използван в областта на обработката на полупроводници.

Tantalum Carbide Coating Suppor на VeTek Semiconductor има твърдост по Mohs от почти 9~10, на второ място след диаманта. Той има изключително силна устойчивост на износване и може ефективно да устои на повърхностното износване и удар по време на обработка, като по този начин ефективно удължава експлоатационния живот на компонентите на оборудването. В комбинация с високата си точка на топене от около 3880°C, той често се използва за покриване на ключови компоненти на полупроводниково оборудване, като повърхностни покрития на носещи конструкции, оборудване за термична обработка, камери или уплътнения в полупроводниково оборудване, за да се подобри неговата устойчивост на износване и висока температура съпротива.

Поради изключително високата точка на топене на танталовия карбид от около 3880°C, в процесите на обработка на полупроводници като напр.химическо отлагане на пари (CVD)ифизическо отлагане на пари (PVD), TaC покритието със силна устойчивост на висока температура и устойчивост на химическа корозия може ефективно да защити компонентите на оборудването и да предотврати корозия или повреда на субстрата в екстремни среди, осигурявайки ефективна защита за среда с висока температура при производството на пластини. Тази характеристика също така определя, че опората за покритие от танталов карбид на VeTek Semiconductor често се използва при ецване и корозивни процеси.

Поддръжката на покритие от танталов карбид също има функцията да намалява замърсяването с частици. По време на обработката на пластината повърхностното износване обикновено води до замърсяване с частици, което се отразява на качеството на продукта на пластината. Екстремните характеристики на продукта на TaC Coating с твърдост близо до 9-10 по Mohs могат ефективно да намалят това износване, като по този начин намаляват генерирането на частици. В комбинация с отличната топлопроводимост на TaC покритието (около 21 W/m·K), то може да поддържа добра топлопроводимост при условия на висока температура, като по този начин значително подобрява добива и последователността на производството на пластини.

Основните продукти за TaC покритие на VeTek Semiconductor включватTaC нагревател за покритие, CVD TaC тигел за покритие, TaC Coating Rotation SusceptorиРезервна част за покритие TaCи т.н. и поддържа персонализирани продуктови услуги. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя отлични продукти и технически решения за индустрията на полупроводниците. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

Основни физични свойства на CVD TaC покритие：