VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.
Основните продукти саДефектиращ пръстен с покритие от танталов карбид, отклоняващ пръстен с покритие от TaC, полумесечни части с покритие от TaC, планетарен ротационен диск с покритие от танталов карбид (Aixtron G10), тигел с покритие от TaC; Пръстени с TaC покритие; Порест графит с TaC покритие; Графитен ток с покритие от танталов карбид; Водещ пръстен с TaC покритие; TaC плоча с покритие от танталов карбид; Вафлен ток с покритие от TaC; TaC пръстен за покритие; TaC покритие Графитно покритие; Част с покритие от TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.
Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:
Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивост на топлинен запас
●Силна адхезия към графит
●Конформно покритие на покритието
● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)
● Индуктивен топлинен приемник
● Резистивен нагревателен елемент
● Топлинен щит
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/К |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5Ом*см |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |
елемент | Атомен процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средно | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Като професионален иноватор и лидер на продуктите с пръстен с покритие от танталов карбид в Китай, VeTek полупроводников пръстен с покритие от танталов карбид играе незаменима роля в растежа на кристалите SiC с отличната си устойчивост на висока температура, устойчивост на износване и отлична топлопроводимост. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на продукти от порест танталов карбид в Китай. Порестият танталов карбид обикновено се произвежда чрез метод на химическо отлагане на пари (CVD), осигуряващ прецизен контрол на неговия размер и разпределение на порите, и е материален инструмент, предназначен за екстремни среди с висока температура. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато усъвършенстван производител и производител на продукти от танталов карбид пръстен в Китай, VeTek Semiconductor танталов карбид пръстен има изключително висока твърдост, устойчивост на износване, устойчивост на висока температура и химическа стабилност и се използва широко в областта на производството на полупроводници. Особено при CVD, PVD, процес на йонна имплантация, процес на ецване и обработка и транспортиране на пластини, той е незаменим продукт за обработка и производство на полупроводници. Очакваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител на продукти за поддръжка на танталов карбид и фабрика в Китай, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support обикновено се използва за повърхностно покритие на структурни компоненти или поддържащи компоненти в полупроводниково оборудване, особено за повърхностна защита на ключови компоненти на оборудването в производствени процеси на полупроводници, като напр. CVD и PVD. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на продукти с водещи пръстени от танталов карбид в Китай. Нашият водещ пръстен от танталов карбид (TaC) е пръстеновиден компонент с висока производителност, изработен от танталов карбид, който обикновено се използва в оборудване за обработка на полупроводници, особено при висока температура и силно корозивни среди като CVD, PVD, ецване и дифузия. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя напреднали технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия и приветства вашите допълнителни запитвания.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител, новатор и лидер на TaC Coating Rotation Susceptor продукти в Китай. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor обикновено се инсталира в оборудване за химическо отлагане на пари (CVD) и епитаксия с молекулярни лъчи (MBE), за да поддържа и върти пластини, за да осигури равномерно отлагане на материала и ефективна реакция. Това е ключов компонент в обработката на полупроводници. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитване