У дома > Продукти > Покритие от силициев карбид

Китай Покритие от силициев карбид Производител, доставчик, фабрика

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.


Реакторни части, които можем да направим:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Параметри на VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост Типична стойност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност 3,21 g/cm³
Твърдост 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване)
Размер на зърното 2~10 μm
Химическа чистота 99,99995%
Топлинен капацитет 640 J·kg-1·K-1
Температура на сублимация 2700 ℃
Якост на огъване 415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост 300W·m-1·K-1
Термично разширение (CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Подложка с SiC покритие за LPE PE2061S

Подложка с SiC покритие за LPE PE2061S

VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай с SiC покритие за опора за LPE PE2061S. Ние сме специализирани в SiC покритие от много години. Предлагаме SiC покритие за LPE PE2061S, проектирано специално за LPE силициев епитаксиален реактор. Тази опора с SiC покритие за LPE PE2061S е долната част на цевния приемник. Тя може да издържи на висока температура от 1600 градуса по Целзий, удължава живота на продукта на графитната резервна част. Добре дошли, за да ни изпратите запитване.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S

Горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор в Китай с горна плоча с покритие от SiC за LPE PE2061S. Ние сме специализирани в материал за покритие от SiC от много години. Предлагаме горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S, проектирана специално за реактор за силициева епитаксия LPE. Тази горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S е горната част заедно с цевноприемник. Тази CVD SiC покрита плоча се отличава с висока чистота, отлична термична стабилност и еднородност, което я прави подходяща за отглеждане на висококачествени епитаксиални слоеве. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
SiC покритие барел фиксатор за LPE PE2061S

SiC покритие барел фиксатор за LPE PE2061S

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на цевноприемник с покритие от SiC за LPE PE2061S в Китай. Ние сме специализирани в материал за покритие от SiC от много години. Предлагаме цевноприемник с покритие от SiC, проектиран специално за 4-инчови пластини LPE PE2061S. Този приемник разполага с издръжливо покритие от силициев карбид, което подобрява производителността и издръжливостта по време на процеса LPE (епитаксия в течна фаза). Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Душ глава от твърд SiC газ

Душ глава от твърд SiC газ

VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай от Solid SiC Gas Shower Head. Специализирани сме в полупроводникови материали в продължение на много години. Дизайнът на VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head с много порьози гарантира, че топлината, генерирана в CVD процеса, може да бъде разпръсната , като се гарантира, че субстратът се нагрява равномерно. Очакваме с нетърпение да създадем дългосрочна работа с вас в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Процес на химическо отлагане на пари Solid SiC Edge Ring

Процес на химическо отлагане на пари Solid SiC Edge Ring

VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай за процес на химическо отлагане на твърди SiC ръбови пръстени. Ние сме специализирани в полупроводникови материали от много години. VeTek Semiconductor твърд SiC ръбов пръстен предлага подобрена равномерност на ецване и прецизно позициониране на пластини, когато се използва с електростатичен патронник , осигурявайки последователни и надеждни резултати от ецване. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Фокусиращ пръстен за ецване от твърд SiC

Фокусиращ пръстен за ецване от твърд SiC

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на фокусиращ пръстен за гравиране на Solid SiC в Китай. Ние сме специализирани в материал SiC от много години. Solid SiC е избран като материал за фокусиращ пръстен поради отличната си термохимична стабилност, висока механична якост и устойчивост на плазма ерозия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Като професионален Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Покритие от силициев карбид, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept