VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.
Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.
Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.
Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.
Основни физични свойства на CVD SiC покритие | |
Собственост | Типична стойност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана |
Плътност | 3,21 g/cm³ |
Твърдост | 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване) |
Размер на зърното | 2~10 μm |
Химическа чистота | 99,99995% |
Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимация | 2700 ℃ |
Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
Модулът на Йънг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃ |
Топлопроводимост | 300W·m-1·K-1 |
Термично разширение (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай с SiC покритие за опора за LPE PE2061S. Ние сме специализирани в SiC покритие от много години. Предлагаме SiC покритие за LPE PE2061S, проектирано специално за LPE силициев епитаксиален реактор. Тази опора с SiC покритие за LPE PE2061S е долната част на цевния приемник. Тя може да издържи на висока температура от 1600 градуса по Целзий, удължава живота на продукта на графитната резервна част. Добре дошли, за да ни изпратите запитване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор в Китай с горна плоча с покритие от SiC за LPE PE2061S. Ние сме специализирани в материал за покритие от SiC от много години. Предлагаме горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S, проектирана специално за реактор за силициева епитаксия LPE. Тази горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S е горната част заедно с цевноприемник. Тази CVD SiC покрита плоча се отличава с висока чистота, отлична термична стабилност и еднородност, което я прави подходяща за отглеждане на висококачествени епитаксиални слоеве. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на цевноприемник с покритие от SiC за LPE PE2061S в Китай. Ние сме специализирани в материал за покритие от SiC от много години. Предлагаме цевноприемник с покритие от SiC, проектиран специално за 4-инчови пластини LPE PE2061S. Този приемник разполага с издръжливо покритие от силициев карбид, което подобрява производителността и издръжливостта по време на процеса LPE (епитаксия в течна фаза). Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай от Solid SiC Gas Shower Head. Специализирани сме в полупроводникови материали в продължение на много години. Дизайнът на VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head с много порьози гарантира, че топлината, генерирана в CVD процеса, може да бъде разпръсната , като се гарантира, че субстратът се нагрява равномерно. Очакваме с нетърпение да създадем дългосрочна работа с вас в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай за процес на химическо отлагане на твърди SiC ръбови пръстени. Ние сме специализирани в полупроводникови материали от много години. VeTek Semiconductor твърд SiC ръбов пръстен предлага подобрена равномерност на ецване и прецизно позициониране на пластини, когато се използва с електростатичен патронник , осигурявайки последователни и надеждни резултати от ецване. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на фокусиращ пръстен за гравиране на Solid SiC в Китай. Ние сме специализирани в материал SiC от много години. Solid SiC е избран като материал за фокусиращ пръстен поради отличната си термохимична стабилност, висока механична якост и устойчивост на плазма ерозия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване