VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор в Китай с SiC покритие за опора за LPE PE2061S. Ние сме специализирани в SiC покритие от много години. Предлагаме SiC покритие за LPE PE2061S, проектирано специално за LPE силициев епитаксиален реактор. Тази опора с SiC покритие за LPE PE2061S е долната част на цевния приемник. Тя може да издържи на висока температура от 1600 градуса по Целзий, удължава живота на продукта на графитната резервна част. Добре дошли, за да ни изпратите запитване.
Висококачествена опора с SiC покритие за LPE PE2061S се предлага от китайския производител VeTek Semiconductor. Купете опора с SiC покритие за LPE PE2061S, която е с високо качество директно на ниска цена.
VeTeK Semiconductor SiC покрита опора за LPE PE2061S в оборудване за силициева епитаксия, използвана във връзка с барел тип фиксатор за поддържане и задържане на епитаксиалните пластини (или субстрати) по време на процеса на епитаксиален растеж.
Долната плоча се използва главно с цевната епитаксиална пещ, цевната епитаксиална пещ има по-голяма реакционна камера и по-висока производствена ефективност от плоския епитаксиален фиксатор.
Опората има конструкция с кръгъл отвор и се използва предимно за изпускателен отвор вътре в реактора.
VeTeK Semiconductor SiC покрита опора за LPE PE2061S е за реакторна система за епитаксия в течна фаза (LPE), с висока чистота, равномерно покритие, стабилност при висока температура, устойчивост на корозия, висока твърдост, отлична топлопроводимост, нисък коефициент на топлинно разширение и химическа инертност .
Основни физични свойства на CVD SiC покритие | |
Имот | Типична стойност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана |
Плътност | 3,21 g/cm³ |
Твърдост | 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване) |
Размер на зърното | 2~10 μm |
Химическа чистота | 99,99995% |
Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимация | 2700 ℃ |
Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
Модулът на Йънг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃ |
Топлопроводимост | 300W·m-1·K-1 |
Термично разширение (CTE) | 4.5×10-6K-1 |