Душ глава от твърд SiC газ

Душ глава от твърд SiC газ

VeTek Semiconductor е интегрирана компания, посветена на изследванията, производството и продажбите. С над 20 години опит нашият екип е специализиран в SiC, TaC покрития и CVD Solid SiC. Добре дошли да купите от нас Solid SiC газова душ глава.

VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head обикновено се използва за равномерно разпределяне на прекурсорни газове върху повърхността на субстрата по време на полупроводникови CVD процеси. Използването на CVD-SiC материал за душове предлага няколко предимства. Неговата висока топлопроводимост помага за разсейването на топлината, генерирана в CVD процеса, осигурявайки равномерно разпределение на температурата върху субстрата. В допълнение, химическата стабилност на душовата глава CVD sic му позволява да издържа на корозивни газове и тежки среди, често срещани при CVD процеси. 

Дизайнът на CVD SiC душ глави може да бъде пригоден към специфични CVD системи и изисквания на процеса. Въпреки това, те обикновено се състоят от плоча или дискообразен компонент със серия от прецизно пробити отвори или слотове. Моделът и геометрията на отворите са внимателно проектирани, за да осигурят равномерно разпределение на газа и скорост на потока върху повърхността на субстрата.

Физични свойства на твърдия SiC