VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.
Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.
Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.
Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.
Основни физични свойства на CVD SiC покритие | |
Собственост | Типична стойност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана |
Плътност | 3,21 g/cm³ |
Твърдост | 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване) |
Размер на зърното | 2~10 μm |
Химическа чистота | 99,99995% |
Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимация | 2700 ℃ |
Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
Модулът на Йънг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃ |
Топлопроводимост | 300W·m-1·K-1 |
Термично разширение (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Добре дошли във VeTek Semiconductor, вашият доверен производител на CVD SiC покрития. Ние се гордеем с предлагането на Aixtron SiC Coating Collector Top, който е експертно проектиран с помощта на графит с висока чистота и разполага с най-съвременно CVD SiC покритие с примеси под 5ppm. Моля, не се колебайте да се свържете с нас с всякакви въпроси или запитвания
Прочетете ощеИзпратете запитванеС нашия опит в производството на CVD SiC покрития, VeTek Semiconductor с гордост представя Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Това колекторно дъно с покритие от SiC е конструирано с помощта на графит с висока чистота и е покрито с CVD SiC, осигурявайки примеси под 5ppm. Чувствайте се свободни да се свържете с нас за допълнителна информация и запитвания.
Прочетете ощеИзпратете запитванеВъв VeTek Semiconductor сме специализирани в изследването, разработването и индустриализирането на CVD SiC покрития и CVD TaC покрития. Един примерен продукт е SiC Coating Cover Segments Inner, който се подлага на интензивна обработка за постигане на изключително прецизна и плътно покрита CVD SiC повърхност. Това покритие демонстрира изключителна устойчивост на високи температури и осигурява стабилна защита от корозия. Чувствайте се свободни да се свържете с нас за всякакви запитвания.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVetek Semiconductor е посветен на напредъка и комерсиализацията на CVD SiC покритие и CVD TaC покритие. Като илюстрация, нашите покриващи сегменти от SiC покритие се подлагат на щателна обработка, което води до плътно CVD SiC покритие с изключителна прецизност. Проявява забележителна устойчивост на високи температури и предлага стабилна защита срещу корозия. Приветстваме вашите запитвания.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVetek Semiconductor се фокусира върху изследванията и развитието и индустриализацията на CVD SiC покрития и CVD TaC покрития. Като вземем MOCVD Susceptor като пример, продуктът е силно обработен с висока точност, плътно CVD SIC покритие, устойчивост на висока температура и силна устойчивост на корозия. Запитване към нас е добре дошло.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е новатор на производителите на SiC покрития в Китай. Пръстенът за предварително нагряване, предоставен от VeTek Semiconductor, е предназначен за процес на епитаксия. Равномерното покритие от силициев карбид и висококачественият графитен материал като суровини осигуряват последователно отлагане и подобряват качеството и еднородността на епитаксиалния слой. Очакваме с нетърпение да установим дългосрочно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитване