VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.
Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.
Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.
Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.
Основни физични свойства на CVD SiC покритие | |
Собственост | Типична стойност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана |
Плътност | 3,21 g/cm³ |
Твърдост | 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване) |
Размер на зърното | 2~10 μm |
Химическа чистота | 99,99995% |
Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимация | 2700 ℃ |
Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
Модулът на Йънг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃ |
Топлопроводимост | 300W·m-1·K-1 |
Термично разширение (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Като професионален производител и доставчик на носители за пластини със SiC покритие в Китай, носителите за пластини с SiC покритие на Vetek Semiconductor се използват главно за подобряване на равномерността на растежа на епитаксиалния слой, гарантирайки тяхната стабилност и цялост при висока температура и корозивни среди. Очакваме вашето запитване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител на ALD Susceptor, CVD SiC покритие, CVD TAC COATING графитна основа в Китай. Vetek Semiconductor съвместно разработи и произведе покрити с SiC ALD планетарни основи с производителите на ALD системи, за да отговори на високите изисквания на ALD процеса и да разпредели равномерно въздушния поток върху субстрата. Очакваме с нетърпение по-нататъшно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на тавани с CVD SiC покритие в Китай, таванът с CVD SiC покритие на VeTek Semiconductor има отлични свойства като устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, висока твърдост и нисък коефициент на топлинно разширение, което го прави идеален избор на материал в производството на полупроводници. Очакваме с нетърпение по-нататъшно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител на MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor в Китай. MOCVD LED Epi Susceptor на VeTek Semiconductor е проектиран за взискателни приложения на епитаксиално оборудване. Неговата висока топлопроводимост, химическа стабилност и издръжливост са ключови фактори за осигуряване на стабилен процес на епитаксиален растеж и производство на висококачествен полупроводников филм. Очакваме с нетърпение по-нататъшно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на ALD приемник на SiC покритие в Китай, ALD приемникът на SiC покритие на VeTek Semiconductor е поддържащ компонент, използван специално в процеса на отлагане на атомен слой (ALD). Той играе ключова роля в оборудването на ALD, като осигурява равномерност и прецизност на процеса на отлагане. Вярваме, че нашите продукти ALD Planetary Susceptor могат да ви донесат висококачествени продуктови решения.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител, иноватор и лидер на SiC Coating Epi Susceptor продукти в Китай. В продължение на много години ние се фокусираме върху различни продукти с SiC покритие, като SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC покритие ALD susceptor и т.н. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и продуктови решения за полупроводниците индустрия. Приветстваме вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитване