У дома > Продукти > Покритие от силициев карбид

Китай Покритие от силициев карбид Производител, доставчик, фабрика

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.


Реакторни части, които можем да направим:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Параметри на VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост Типична стойност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност 3,21 g/cm³
Твърдост 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване)
Размер на зърното 2~10 μm
Химическа чистота 99,99995%
Топлинен капацитет 640 J·kg-1·K-1
Температура на сублимация 2700 ℃
Якост на огъване 415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост 300W·m-1·K-1
Термично разширение (CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Щифт за повдигане на вафли

Щифт за повдигане на вафли

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на EPI Wafer Lift Pin в Китай. Ние сме специализирани в SiC покритие върху повърхността на графит от много години. Ние предлагаме EPI Wafer Lift Pin за Epi процес. С високо качество и конкурентна цена ви приветстваме да посетите нашата фабрика в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
SiC покритие барел фиксатор

SiC покритие барел фиксатор

VeTek Semiconductor предлага цялостен набор от компонентни решения за реакционни камери за силициева епитаксия LPE, осигуряващи дълъг живот, стабилно качество и подобрен добив на епитаксиален слой. Нашият продукт като SiC Coated Barrel Susceptor получи обратна връзка за позицията от клиенти. Ние също така предоставяме техническа поддръжка за Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED епитаксия и др. Чувствайте се свободни да попитате за информация за цените.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Ако EPI приемникът

Ако EPI приемникът

VeTek Semiconductor е фабрика, която съчетава прецизна обработка и възможности за покритие на SiC и TaC на полупроводници. Барелният тип Si Epi Susceptor осигурява възможности за контрол на температурата и атмосферата, като повишава ефективността на производството в процесите на епитаксиален растеж на полупроводници. Очакваме с нетърпение да установим сътрудничество с вас.

Прочетете ощеИзпратете запитване
SiC покрит Epi рецептор

SiC покрит Epi рецептор

Като водещ местен производител на покрития от силициев карбид и танталов карбид, VeTek Semiconductor е в състояние да осигури прецизна обработка и равномерно покритие на SiC Coated Epi Susceptor, като ефективно контролира чистотата на покритието и продукта под 5ppm. Животът на продукта е сравним с този на SGL. Заповядайте да ни попитате.

Прочетете ощеИзпратете запитване
LPE SI EPI комплект рецептори

LPE SI EPI комплект рецептори

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на LPE Si Epi Susceptor Set в Китай. Ние сме специализирани в SiC покритие и TaC покритие от много години. Ние предлагаме LPE Si Epi Susceptor Set, проектиран специално за LPE PE2061S 4'' пластини. Степента на съвпадение на графитния материал и SiC покритието е добра, еднородността е отлична и животът е дълъг, което може да подобри добива на растеж на епитаксиалния слой по време на процеса LPE (епитаксия в течна фаза). Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Aixtron G5 MOCVD приемници

Aixtron G5 MOCVD приемници

VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на токоприемници Aixtron G5 MOCVD в Китай. Ние сме специализирани в материал за покритие SiC от много години. Ние предлагаме токоприемници Aixtron G5 MOCVD, проектирани специално за реактор Aixtron G5 MOCVD. Този комплект Aixtron G5 MOCVD Susceptors е универсално и ефикасно решение за производство на полупроводници със своя оптимален размер, съвместимост и висока производителност. Добре дошли да ни попитате.

Прочетете ощеИзпратете запитване
<...678910...11>
Като професионален Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Покритие от силициев карбид, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept