VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.
Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.
Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.
Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.
Основни физични свойства на CVD SiC покритие | |
Собственост | Типична стойност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана |
Плътност | 3,21 g/cm³ |
Твърдост | 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване) |
Размер на зърното | 2~10 μm |
Химическа чистота | 99,99995% |
Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимация | 2700 ℃ |
Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
Модулът на Йънг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃ |
Топлопроводимост | 300W·m-1·K-1 |
Термично разширение (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ICP Etching Carrier с покритие от SiC на VeTek Semiconductor е проектирано за най-взискателните приложения на оборудване за епитаксия. Изработен от висококачествен ултрачист графитен материал, нашият ICP ецващ носител със SiC покритие има много равна повърхност и отлична устойчивост на корозия, за да издържи на суровите условия по време на работа. Високата топлопроводимост на носителя с SiC покритие осигурява равномерно разпределение на топлината за отлични резултати от ецване. VeTek Semiconductor очаква с нетърпение да изгради дългосрочно партньорство с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеPSS Etching Carrier Plate for Semiconductor на VeTek Semiconductor е висококачествен, ултра-чист графитен носител, предназначен за процеси на обработка на пластини. Нашите носачи имат отлична производителност и могат да се представят добре в тежки среди, високи температури и сурови условия на химическо почистване. Нашите продукти се използват широко в много европейски и американски пазари и ние с нетърпение очакваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на токоприемници за бързо термично отгряване в Китай. Ние сме специализирани в материал за покритие SiC от много години. Ние предлагаме токоприемници за бързо термично отгряване с високо качество, устойчивост на висока температура, супер тънък. Приветстваме ви да посетите нашия фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик, посветен на предоставянето на висококачествен GaN епитаксиален ток на основата на силиций. Полупроводникът на приемника се използва в системата VEECO K465i GaN MOCVD, висока чистота, устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, добре дошли да попитате и да си сътрудничите с нас!
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор в Китай с 8-инчова полумесечна част за LPE реактор. Ние сме специализирани в SiC покриващ материал от много години. Предлагаме 8-инчова полумесечна част за LPE реактор, проектирана специално за LPE SiC епитаксиален реактор. Тази полумесечна част е многостранно и ефективно решение за производство на полупроводници с оптимален размер, съвместимост и висока производителност. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор в Китай на палачинков приемник с покритие от SiC за LPE PE3061S 6" пластини. Ние сме специализирани в материал за покритие от SiC в продължение на много години. Предлагаме палачинков приемник с покритие от SiC, проектиран специално за LPE PE3061S 6" пластини . Този епитаксиален фиксатор се характеризира с висока устойчивост на корозия, добра топлопроводимост, добра равномерност. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване