VeTek Semiconductor е професионален производител на плоча с покритие TaC и други резервни части за покритие TaC в Китай. Понастоящем TaC покритието се използва главно в процеси като растеж на монокристали от силициев карбид (PVT метод), епитаксиален диск (включително епитаксия от силициев карбид, LED епитаксия) и т.н. В комбинация с добрата дългосрочна стабилност на TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Покриващата плоча се превърна в еталон за резервни части за TaC покритие. Очакваме с нетърпение да станете наш дългосрочен партньор.
VeTek SemiconductorТаС покритиее специален материал, широко използван вполупроводникПроцес на производство. В комбинация със своята висока твърдост и устойчивост на износване, висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия, нисък коефициент на триене и добра термична проводимост, плоча за покритие на TAC играе незаменима роля в много връзки на полупроводниковата обработка.
Като цяло приложенията наПлочи с покритие от TaCв обработката на полупроводници са както следва:
CVD/ALD растежен субстрат: Устойчивостта на висока температура, химическата стабилност и ниският коефициент на триене на плочите с покритие от TaC ги правят идеални CVD/ALD субстрати за растеж. Може да осигури стабилна среда за растеж, за да осигури еднородност и плътност на филма.
Графираща маска: Високата твърдост и устойчивост на корозия на плочите с покритие от TaC им позволяват да издържат на високоенергийни процеси като плазмено ецване, като плочи с маска за ецване, защитаващи основния филм.
CMP подложка за полиране: Устойчивостта на износване и ниският коефициент на триене на плочите с покритие от TaC ги прави идеални материали за полиращи подложки CMP, които могат ефективно да отстранят частици и дефекти по повърхността на филма.
Високотемпературна тръба за пещ: Устойчивостта на висока температура и устойчивостта на корозия на плочите с покритие от TaC им позволява да бъдат използвани като пещни тръби във високотемпературни пещи за високотемпературно отгряване, дифузия и други процеси.
В съчетание с характеристиките на продукта наТаС покритие, определя, че този продукт играе незаменима ключова роля за подобряване на производителността на устройството, удължаване на живота на оборудването и подобряване на производствената ефективност.
Като професионален производител наGaN върху SiC епи акцептор, Порест графитиТаС покритиев Китай VeTek Semiconductor винаги настоява да предоставя персонализирани продуктови услуги и се ангажира да предостави на индустрията най-добрите технологии и продуктови решения. Искрено очакваме вашата допълнителна консултация.
Технически параметри на CVD TAC ПОКРИТИЕ:
Магазини за резервни части за TaC Coating:
Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове: