Носител за пластини с покритие SiC

Vetek Semiconductor е специализирана в производството и доставката на високопроизводителни носители за пластини с SiC покритие и се ангажира да предоставя напреднали технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия.

В производството на полупроводници носителят на пластини с покритие SiC на Vetek Semiconductor е ключов компонент в оборудването за химическо отлагане на пари (CVD), особено в оборудването за химическо отлагане на пари на метали (MOCVD). Основната му задача е да поддържа и загрява монокристалния субстрат, така че епитаксиалният слой да може да расте равномерно. Това е от съществено значение за производството на висококачествени полупроводникови устройства.

Корозионната устойчивост на SiC покритието е много добра, което може ефективно да защити графитната основа от корозивни газове. Това е особено важно при висока температура и корозивна среда. В допълнение, топлопроводимостта на SiC материала също е много отлична, което може равномерно да провежда топлина и да осигури равномерно разпределение на температурата, като по този начин подобрява качеството на растеж на епитаксиалните материали.

SiC покритието поддържа химическа стабилност при висока температура и корозивна атмосфера, избягвайки проблема с повреда на покритието. По-важното е, че коефициентът на термично разширение на SiC е подобен на този на графита, което може да избегне проблема с отделянето на покритието поради термично разширение и свиване и да гарантира дългосрочна стабилност и надеждност на покритието.

Основни физични свойства наНосител за пластини с покритие SiC:

Производствен цех:

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове: