У дома > Продукти > Покритие от силициев карбид

Китай Покритие от силициев карбид Производител, доставчик, фабрика

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.


Реакторни части, които можем да направим:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Параметри на VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост Типична стойност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност 3,21 g/cm³
Твърдост 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване)
Размер на зърното 2~10 μm
Химическа чистота 99,99995%
Топлинен капацитет 640 J·kg-1·K-1
Температура на сублимация 2700 ℃
Якост на огъване 415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост 300W·m-1·K-1
Термично разширение (CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Пиедестал с SiC покритие

Пиедестал с SiC покритие

Vetek Semiconductor е професионалист в производството на CVD SiC покритие, TaC покритие върху графит и силициев карбид. Ние предлагаме OEM и ODM продукти като пиедестал със SiC покритие, носач за вафли, патронник за вафли, тава за носачи за вафли, планетарен диск и т.н. С чиста стая от клас 1000 и устройство за пречистване можем да ви предоставим продукти с примеси под 5ppm. Очакваме с нетърпение да чуем от теб скоро.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Входен пръстен със SiC покритие

Входен пръстен със SiC покритие

Vetek Semiconductor се отличава с тясното си сътрудничество с клиентите, за да изработи индивидуален дизайн за входен пръстен със SiC покритие, съобразен със специфични нужди. Тези входни пръстени с SiC покритие са прецизно проектирани за разнообразни приложения като CVD SiC оборудване и епитаксия със силициев карбид. За персонализирани решения за входен пръстен със SiC покритие не се колебайте да се свържете с Vetek Semiconductor за персонализирана помощ.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Поддържащ пръстен с SiC покритие

Поддържащ пръстен с SiC покритие

VeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай, произвеждащ основно опорни пръстени с SiC покритие, CVD покрития от силициев карбид (SiC), покрития от танталов карбид (TaC), насипен SiC, SiC прахове и SiC материали с висока чистота. Ние се ангажираме да предоставяме перфектна техническа поддръжка и върховни продуктови решения за полупроводниковата индустрия, добре дошли да се свържете с нас.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Вафлен Чък

Вафлен Чък

Пластинчатият патронник на Vetek Semiconductor играе централна роля в производството на полупроводници, позволявайки бърза и висококачествена продукция. С вътрешно производство, конкурентни цени и стабилна поддръжка за научноизследователска и развойна дейност, Vetek Semiconductor се отличава с OEM/ODM услуги за прецизни компоненти. Очакваме вашето запитване.

Прочетете ощеИзпратете запитване
ALD планетарен токоприемник

ALD планетарен токоприемник

ALD процес, означава процес на епитаксия на атомен слой. Производителите на Vetek Semiconductor и ALD системи са разработили и произвели планетарни токоприемници ALD с SiC покритие, които отговарят на високите изисквания на ALD процеса за равномерно разпределяне на въздушния поток върху субстрата. В същото време CVD SiC покритието на Vetek Semiconductor с висока чистота гарантира чистота в процеса. Добре дошли да обсъдите сътрудничеството с нас.

Прочетете ощеИзпратете запитване
SiC Coating Suceptor

SiC Coating Suceptor

Vetek Semiconductor се фокусира върху изследванията и развитието и индустриализацията на CVD SiC покрития и CVD TaC покрития. Вземайки SiC покритие като пример, продуктът е силно обработен с висока точност, плътно CVD SIC покритие, устойчивост на висока температура и силна устойчивост на корозия. Запитване към нас е добре дошло.

Прочетете ощеИзпратете запитване
<...34567...11>
Като професионален Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Покритие от силициев карбид, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept