VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.
Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.
Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.
Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.
Основни физични свойства на CVD SiC покритие | |
Собственост | Типична стойност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана |
Плътност | 3,21 g/cm³ |
Твърдост | 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване) |
Размер на зърното | 2~10 μm |
Химическа чистота | 99,99995% |
Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимация | 2700 ℃ |
Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
Модулът на Йънг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃ |
Топлопроводимост | 300W·m-1·K-1 |
Термично разширение (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor е професионален производител на LPE Halfmoon SiC EPI реактор, новатор и лидер в Китай. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor е устройство, специално проектирано за производство на висококачествени епитаксиални слоеве от силициев карбид (SiC), използвани главно в полупроводниковата индустрия. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя водещи технологични и продуктови решения за полупроводниковата индустрия и приветства вашите допълнителни запитвания.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на Aixtron MOCVD Susceptor в Китай, Aixtron MOCVD Susceptor на Vetek Semiconductor се използва широко в процеса на отлагане на тънък слой при производството на полупроводници, особено включващ MOCVD процес. Vetek Semiconductor се фокусира върху производството и доставката на високоефективни Aixtron MOCVD Susceptor продукти. Приветстваме вашето запитване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на графитни нагреватели със силициево-карбидно керамично покритие в Китай, графитният нагревател със силициево-карбидно керамично покритие е високоефективен нагревател, изработен от графитен субстрат и покрит със силициево-въглеродно керамично (SiC) покритие на повърхността си. Със своя дизайн от композитни материали, този продукт осигурява отлични решения за отопление в производството на полупроводници. Приветстваме вашето запитване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител на нагреватели с керамично покритие от силициев карбид в Китай. Нагревателят с керамично покритие от силициев карбид е предназначен главно за висока температура и тежка среда при производството на полупроводници. Неговата свръхвисока точка на топене, отлична устойчивост на корозия и изключителна топлопроводимост определят незаменимостта на този продукт в процеса на производство на полупроводници. Искрено се надяваме да установим дългосрочни бизнес отношения с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на керамично покритие от силициев карбид в Китай, керамичното покритие от силициев карбид на Vetek Semiconductor се използва широко върху ключови компоненти на оборудването за производство на полупроводници, особено когато са включени CVD и PECVD процеси. Приветстваме вашето запитване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеEPI приемникът на VeTek Semiconductor е проектиран за взискателни приложения на епитаксиално оборудване. Неговата графитна структура с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота предлага отлична устойчивост на топлина, еднаква термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епитаксиалния слой и дълготрайна химическа устойчивост. Очакваме с нетърпение да си сътрудничим с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитване