Получател на EPI

EPI приемникът на VeTek Semiconductor е проектиран за взискателни приложения на епитаксиално оборудване. Неговата графитна структура с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота предлага отлична устойчивост на топлина, еднаква термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епитаксиалния слой и дълготрайна химическа устойчивост. Очакваме с нетърпение да си сътрудничим с вас.

Изпратете запитване

Описание на продукта

VeTek Semiconductor е професионален лидер в Китай, производител на EPI приемници, ALD планетарни приемници, графитни приемници с TaC покритие.

EPI токосцепторът на VeTek Semiconductor е важен компонент на епитаксиалния растеж в процеса на производство на полупроводници. Неговата основна функция е да поддържа и загрява пластината, така че висококачествен епитаксиален слой да може да бъде равномерно израснал върху повърхността на пластината.

EPI токовете на VeTek Semiconductors обикновено са направени от графит с висока чистота и са покрити със слой от силициев карбид (SiC). Този дизайн има следните основни предимства:

Висока температурна стабилност: EPI токът може да остане стабилен в среда с висока температура, осигурявайки равномерното нарастване на епитаксиалния слой.

Устойчивост на корозия: SiC покритието има отлична устойчивост на корозия и може да устои на ерозията на химически газове, като удължава експлоатационния живот на тавата.

Топлопроводимост: Високата топлопроводимост на SiC материала осигурява равномерно разпределение на температурата на пластината по време на нагряване, като по този начин подобрява качеството на епитаксиалния слой.

Съвпадение на коефициента на топлинно разширение: Коефициентът на термично разширение на SiC е подобен на този на графита, избягвайки проблема с разпадането на покритието поради термично разширение и свиване.

Основни физични свойства наПолучател на EPI: