Получател на EPI

EPI приемникът на VeTek Semiconductor е проектиран за взискателни приложения на епитаксиално оборудване. Неговата графитна структура с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота предлага отлична устойчивост на топлина, еднаква термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епитаксиалния слой и дълготрайна химическа устойчивост. Очакваме с нетърпение да си сътрудничим с вас.

Изпратете запитване

Описание на продукта

VeTek Semiconductor е професионален лидер в Китай EPI приемник, ALD планетарен приемник и TaC покрит графитен приемник. и нашият EPI приемник е важен компонент наепитаксиален растежВ процеса на производство на полупроводници. Неговата основна функция е да поддържа и загрява пластината, така че висококачествен епитаксиален слой да може да бъде равномерно израснал върху повърхността на пластината.

EPI токовете на VeTek Semiconductors обикновено са направени от графит с висока чистота и са покрити със слой от силициев карбид (SiC).Този дизайн има следните основни предимства:

● Стабилност при висока температура: EPI токът може да остане стабилен в среда с висока температура, осигурявайки равномерното нарастване на епитаксиалния слой.

● Устойчивост на корозия: SiC покритието има отлична устойчивост на корозия и може да устои на ерозията от химически газове, като удължава експлоатационния живот на тавата.

● Топлопроводимост: Високата топлопроводимост на SiC материала осигурява равномерно разпределение на температурата на пластината по време на нагряване, като по този начин подобрява качеството на епитаксиалния слой.

● Съвпадение на коефициента на термично разширение: Коефициентът на термично разширение на SiC е подобен на този на графита, избягвайки проблема с разпадането на покритието поради термично разширение и свиване.