нагревател с керамично покритие от силициев карбид

VeTek SemiconductorSilicon Carbide Ceramic Coating Heater е нагревател, предназначен за висока температура и тежки среди. Той покрива слой от силициево въглеродно керамично покритие (SiC) върху повърхността на нагревателния елемент, за да даде на оборудването отлична устойчивост на топлина, устойчивост на корозия и топлопроводимост. 

Нагревател с керамично покритие от силициев карбидсе използва главно в оборудване за вакуумно покритие (изпаряване). Често използваните методи са PCD (плазмено химическо сушене) и PVD (физическо отлагане на пари), които се използват широко в производството на полупроводници и други индустриални приложения с високо търсене.

В комбинация с високоефективния дизайн на покритието на нагревателя с керамично покритие от силициев карбид,може да осигури отлично решение за отопление за високотемпературни процеси.

Отлична топлопроводимост: SiC материалът има отлична топлопроводимост, което гарантира, че нагревателят може да постигне равномерно разпределение на топлината в работната зона и да намали температурните градиенти.

Осигурете равномерно разпределение на топлината: Нагревателят с керамично покритие от силициев карбид използва високата топлопроводимост на SiC материала, за да постигне равномерно разпределение на температурата в цялата зона на нагряване. Това е от решаващо значение за осигуряване на равномерна топлинна обработка на полупроводникови пластини при различни високотемпературни процеси като бърза термична обработка (RTP), дифузия и окисление, като се избягват дефекти на продукта, причинени от локално прегряване или неравномерна температура.

Устойчивост на висока температура: SiC покритието позволява на нагревателя да издържа на изключително високи температури, обикновено до 1600°C, подходящо за различни високотемпературни процеси на обработка.

Подобрете устойчивостта на топлина: Тъй като покритието може да издържи на изключително високи температури, то се представя добре в процеси, които изискват продължителна работа при висока температура. Например, в процесите на химическо отлагане на пари (CVD), нагревателят за керамично покритие от силициев карбид може да осигури дълготрайна стабилна работа на оборудването при високи температури и да поддържа постоянна производителност на нагряване, като по този начин подобрява повторяемостта и надеждността на процеса.

Устойчивост на химическа корозия: SiC покритието има изключително висока устойчивост на киселини, основи и корозивни газове и може да остане стабилно за дълго време в среда на сложна химическа атмосфера, удължавайки живота на оборудването. 

Удължаване живота на оборудването: SiC покритието има отлична устойчивост на окисляване и устойчивост на корозия и може ефективно да устои на химическа ерозия и окисление при високи температури. Това е много критично в процеса на производство на полупроводници, особено в среда, която работи с корозивни газове и химикали. Защитният ефект на покритието може значително да удължи експлоатационния живот на нагревателя и да намали честотата на подмяната на оборудването и разходите за поддръжка.

Основни физични свойства на нагревателя с керамично покритие от силициев карбид:

Магазини за нагреватели с керамично покритие от силициев карбид VeTek Semiconductor:

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове VeTek: