Керамично покритие от силициев карбид

Vetek Semiconductor Керамично покритие от силициев карбиде високоефективно защитно покритие, направено от изключително твърд и устойчив на износване материал силициев карбид (SiC), който осигурява отлична устойчивост на химическа корозия и висока температурна стабилност. Тези свойства са от решаващо значение при производството на полупроводници, така че керамичното покритие от силициев карбид се използва широко върху ключови компоненти на оборудването за производство на полупроводници.

Специфичната роля на Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating в производството на полупроводници екакто следва:

Увеличете издръжливостта на оборудването: Керамичното покритие от силициев карбид осигурява отлична повърхностна защита за оборудване за производство на полупроводници със своята изключително висока твърдост и устойчивост на износване. Особено при високотемпературни, силно корозивни процеси, като химическо отлагане на пари (CVD) и плазмено ецване, керамичното покритие от силициев карбид може ефективно да предотврати повреда на повърхността на оборудването поради химическа ерозия или физическо износване, като по този начин значително удължава експлоатационния живот на оборудването и намаляване на времето за престой, причинено от честата подмяна и поддръжка.

Подобрете чистотата на процеса: В процеса на производство на полупроводници всяко малко замърсяване може да причини дефекти на продукта. Химическата инертност на керамичното покритие от силициев карбид му позволява да остане стабилно при екстремни условия, предотвратява отделянето на частици или примеси от материала и гарантира чистотата на околната среда по време на процеса. Това е особено важно за етапи на производство, които изискват висока прецизност и висока чистота, като PECVD и йонна имплантация.

Оптимизирайте управлението на топлината: При високотемпературна обработка на полупроводници, като бърза термична обработка (RTP) и процеси на окисляване, високата топлопроводимост на керамичното покритие от силициев карбид позволява равномерно разпределение на температурата вътре в оборудването. Това помага за намаляване на топлинния стрес и деформацията на материала, причинени от температурни колебания, като по този начин подобрява точността и последователността на производството на продукта.

Поддържа сложна среда на процеси: В процеси, които изискват сложен контрол на атмосферата, като процеси на ICP ецване и PSS ецване, стабилността и устойчивостта на окисление на нагревателя с керамично покритие от силициев карбид гарантират стабилна работа на оборудването при дългосрочна работа, намалявайки риска от разрушаване на материала или оборудването щети поради промени в околната среда.

Vetek Semiconductorсе фокусира върху производството и доставката на високопроизводителни продуктиКерамично покритие от силициев карбид, и се ангажира да предоставя напреднали технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия.Искрено се надяваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Основни физични свойства наКерамично покритие от силициев карбид:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating магазини:

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове: