графитен нагревател с керамично покритие от силициев карбид

VeTek Semiconductor Графитен нагревател с керамично покритие от силициев карбидсъчетава отличната електрическа и топлопроводимост на графита с висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия и устойчивост на износване на силициево-въглеродно керамично покритие и е проектирано за тежки среди за производство на полупроводници. 

Графитен нагревател с керамично покритие от силициев карбидсе използва главно в оборудването за вакуумно покритие (изпаряване), а често използваните методи са PCD (плазмено химическо сушене) и PVD (физическо отлагане на пари). Този продукт изигра важна роля в насърчаването на технологичния прогрес и подобряването на ефективността на производството в полупроводниковата индустрия.Искрено се надяваме на по-нататъшно сътрудничество с вас.

Материалните и структурните характеристики на графитния нагревател с керамично покритие от силициев карбид са както следва:

Графитна подложка: Графитът е известен със своята висока топлопроводимост и нисък коефициент на топлинно разширение. Може да реагира бързо на температурни промени и да поддържа структурна стабилност при високи температури.

Силиконово въглеродно керамично покритие: SiC покритието е равномерно покрито върху графитната повърхност чрез химическо отлагане на пари или други съвременни процеси. SiC има изключително висока твърдост и устойчивост на химическа корозия, което може да защити графитния субстрат от високотемпературно окисляване и корозивни среди.

Специалният структурен дизайн на продукта на графитния нагревател с керамично покритие от силициев карбид определянезаменимите предимства на този продукт в процеса на обработка на полупроводници:

Ефективно и равномерно отопление:

Топлопроводимост: Високата топлопроводимост на графита позволява на нагревателя бързо да достигне и поддържа необходимата температура, а SiC покритието осигурява равномерно разпределение на топлината. Това е особено важно за полупроводникови процеси, които изискват прецизен температурен контрол, като бърза термична обработка (RTP) и химическо отлагане на пари (CVD).

Равномерност на температурата: Чрез равномерно разпределение на топлината графитният нагревател с керамично покритие от силициев карбид може ефективно да намали топлинния стрес и температурния градиент, като гарантира консистенцията и стабилността на качеството на полупроводниковите пластини по време на процеса на нагряване.

Антикорозионна защита:

Химическа устойчивост: Устойчивостта на химическа корозия на SiC покритието позволява на нагревателя да работи стабилно и дълго време в корозивни газове и химически среди, като се избягва повреда на графитния субстрат. Тази характеристика е особено критична при процеси като химическо отлагане на пари (CVD) и усилено плазмено химическо отлагане на пари (PECVD).

Устойчивост на окисление: При високи температури SiC покритието може да предотврати окисляването на графитния субстрат, да удължи експлоатационния живот на нагревателя и да намали честотата и разходите за поддръжка на оборудването.

Намаляване на замърсяването с частици:

Стабилност на повърхността: SiC покритието е не само устойчиво на износване, но също така предотвратява падането на частици от повърхността на материала поради термичен цикъл или химични реакции, като по този начин намалява риска от замърсяване с частици, което може да възникне по време на производството на полупроводници и осигурява среда с висока чистота.

Подобрете надеждността и ефективността на процеса:

Дизайн с дълъг живот: Благодарение на комбинацията от механичната якост на графита и устойчивостта на износване на SiC покритието, графитният нагревател с керамично покритие от силициев карбид може да поддържа високоефективна работа за дълго време при тежки условия на процес, като значително подобрява цялостната надеждност на оборудването.

Ефективно използване на енергията: Високата топлопроводимост на графита и високата температурна стабилност на SiC покритието позволяват на нагревателя да намали консумацията на енергия, като същевременно подобрява точността на контрол на температурата, като по този начин подобрява цялостната ефективност на производството на полупроводници.

Основни физични свойства наГрафитен нагревател с керамично покритие от силициев карбид:

VeTek SemiconductorГрафитен нагревател с керамично покритие от силициев карбидмагазини:

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове:

/друг процес