CVD TaC тигел за покритие

TaC покритие Rotation Susceptor играе ключова роля в процесите на отлагане при висока температура, като CVD и MBE, и е важен компонент за обработка на пластини в производството на полупроводници. Сред тях,TaC покритиеима отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия и химическа стабилност, което гарантира висока прецизност и високо качество по време на обработката на вафли.

CVD TaC Coating Crucible обикновено се състои от TaC покритие играфитсубстрат. Сред тях TaC е керамичен материал с висока точка на топене с точка на топене до 3880°C. Има изключително висока твърдост (твърдост по Викерс до 2000 HV), устойчивост на химическа корозия и силна устойчивост на окисляване. Следователно TaC покритието е отличен материал, устойчив на висока температура в технологията за обработка на полупроводници.

Графитният субстрат има добра топлопроводимост (топлопроводимостта е около 21 W/m·K) и отлична механична стабилност. Тази характеристика определя, че графитът се превръща в идеално покритиесубстрат.

CVD TaC Coating Crucible се използва главно в следните технологии за обработка на полупроводници:

Производство на вафли: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible има отлична устойчивост на висока температура (точка на топене до 3880°C) и устойчивост на корозия, така че често се използва в ключови процеси за производство на пластини, като високотемпературно отлагане на пари (CVD) и епитаксиален растеж. В комбинация с отличната структурна стабилност на продукта в среда с ултрависока температура, това гарантира, че оборудването може да работи стабилно за дълго време при изключително тежки условия, като по този начин ефективно подобрява ефективността на производството и качеството на вафлите.

Процес на епитаксиален растеж: В епитаксиални процеси като напрхимическо отлагане на пари (CVD)и молекулярно-лъчева епитаксия (MBE), CVD TaC Coating Crucible играе ключова роля при носенето. Неговото TaC покритие може не само да поддържа високата чистота на материала при екстремни температури и корозивна атмосфера, но също така ефективно да предотврати замърсяването на реагентите върху материала и корозията на реактора, като гарантира точността на производствения процес и консистенцията на продукта.

Като водещ китайски CVD TaC Coating Crucible производител и лидер, VeTek Semiconductor може да предостави персонализирани продукти и технически услуги според изискванията на вашето оборудване и процес. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение：

Физични свойства на TaC покритието：

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible магазини: