VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор на TaC Coating Heater в Китай. Този продукт има изключително висока точка на топене (около 3880°C). Високата точка на топене на TaC Coating Heater му позволява да работи при изключително високи температури, особено при растежа на епитаксиални слоеве от галиев нитрид (GaN) в процеса на металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD). VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
TaC Coating Heater е високоефективен нагревателен елемент, широко използван в процесите на производство на полупроводници. Повърхността му е покрита с материал от танталов карбид (TaC), който дава на нагревателя отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на химическа корозия и отлична топлопроводимост.
Основните приложения на TaC Coating Heater в производството на полупроводници включват:
По време на процеса на епитаксиален растеж на галиев нитрид (GaN), TaC Coating Heater осигурява прецизно контролирана среда с висока температура, за да гарантира, че епитаксиалният слой се отлага върху субстрата с еднаква скорост и високо качество. Неговата стабилна топлинна мощност помага за постигане на прецизен контрол на тънкослойните материали, като по този начин подобрява производителността на устройството.
Освен това, в процеса на металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD), комбиниран с устойчивостта на висока температура и топлопроводимостта на TaC покритието, TaC нагревателят за покритие обикновено се използва за нагряване на реакционния газ и чрез осигуряване на равномерно разпределение на топлината, той насърчава неговата химическа реакция върху повърхността на субстрата, като по този начин подобрява еднородността на епитаксиалния слой и образува висококачествен филм.
Като лидер в индустрията в продуктите за нагреватели с покритие TaC, VeTek Semiconducto винаги поддържа услуги за персонализиране на продукта и задоволителни цени на продукта. Без значение какви са вашите специфични изисквания, ние ще намерим най-доброто решение за вашите нужди от нагревател за TaC покритие и очакваме вашата консултация по всяко време.
Физични свойства на TaC покритието | |
Плътност | 14,3 (g/cm³) |
Специфична излъчвателна способност | 0.3 |
Коефициент на термично разширение | 6.3 10-6/K |
Твърдост (HK) | 2000 HK |
Съпротива | 1×10-5 Ohm*cm |
Термична стабилност | <2500 ℃ |
Размерът на графита се променя | -10~-20um |
Дебелина на покритието | ≥20um типична стойност (35um±10um) |