У дома > Продукти > Покритие от силициев карбид

Китай Покритие от силициев карбид Производител, доставчик, фабрика

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за употреба в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.


Реакторни части, които можем да направим:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Параметри на VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating:

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост Типична стойност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
Плътност 3,21 g/cm³
Твърдост 2500 твърдост по Викерс(500g натоварване)
Размер на зърното 2~10 μm
Химическа чистота 99,99995%
Топлинен капацитет 640 J·kg-1·K-1
Температура на сублимация 2700 ℃
Якост на огъване 415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг 430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост 300W·m-1·K-1
Термично разширение (CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Държач за варел за вафли с CVD SiC покритие

Държач за варел за вафли с CVD SiC покритие

CVD SiC покрита вафла Държачът на цевта е ключовият компонент на пещта за епитаксиален растеж, широко използван в пещите за епитаксиален растеж MOCVD. VeTek Semiconductor ви предоставя силно персонализирани продукти. Без значение какви са вашите нужди за държач за вафла с покритие от CVD SiC, добре дошли да се консултирате с нас.

Прочетете ощеИзпратете запитване
CVD SiC покритие барел приемник

CVD SiC покритие барел приемник

VeTek Semiconductor CVD SiC покритие цевноприемник е основният компонент на епитаксиалната пещ тип варел. С помощта на CVD SiC покритие цевноприемник, количеството и качеството на епитаксиалния растеж са значително подобрени. VeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик на SiC покритие Barrel Susceptor, и е на водещо ниво в Китай и дори в world.VeTek Semiconductor очаква с нетърпение да установи близки отношения на сътрудничество с вас в индустрията на полупроводниците.

Прочетете ощеИзпратете запитване
CVD SiC покритие Wafer Epi Susceptor

CVD SiC покритие Wafer Epi Susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC покритие вафла Epi suceptor е незаменим компонент за растеж на SiC епитаксия, предлагащ превъзходно термично управление, химическа устойчивост и стабилност на размерите. Избирайки CVD SiC покритие на пластина Epi susceptor на VeTek Semiconductor, вие подобрявате производителността на вашите MOCVD процеси, което води до по-високо качество на продуктите и по-голяма ефективност във вашите операции за производство на полупроводници. Приветстваме вашите допълнителни запитвания.

Прочетете ощеИзпратете запитване
CVD SiC покритие графитен приемник

CVD SiC покритие графитен приемник

VeTek Semiconductor CVD SiC покритие графитен ток е един от важните компоненти в полупроводниковата индустрия като епитаксиален растеж и обработка на пластини. Използва се в MOCVD и друго оборудване за подпомагане на обработката и обработката на вафли и други високопрецизни материали. VeTek Semiconductor разполага с водещите в Китай графитни токове с покритие от SiC и графитни токчета с TaC покритие за производство и производствени възможности и очаква вашата консултация.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Нагревателен елемент с CVD SiC покритие

Нагревателен елемент с CVD SiC покритие

Нагревателният елемент с CVD SiC покритие играе основна роля в нагряването на материали в PVD пещта (отлагане чрез изпаряване). VeTek Semiconductor е водещ производител на нагревателни елементи с CVD SiC покритие в Китай. Разполагаме с разширени възможности за CVD покритие и можем да ви предоставим персонализирани продукти за CVD SiC покритие. VeTek Semiconductor очаква с нетърпение да стане ваш партньор в нагревателния елемент с покритие от SiC.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Графитен въртящ се приемник

Графитен въртящ се приемник

Въртящият се въртящ се графитен ток с висока чистота играе важна роля в епитаксиалния растеж на галиев нитрид (MOCVD процес). VeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на графитни въртящи се приемници в Китай. Разработихме много графитни продукти с висока чистота, базирани на графитни материали с висока чистота, които напълно отговарят на изискванията на полупроводниковата индустрия. VeTek Semiconductor очаква с нетърпение да стане ваш партньор във въртящия се графитен приемник.

Прочетете ощеИзпратете запитване
Като професионален Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Покритие от силициев карбид, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept