Китай Процес на епитаксия на SiC Производител, доставчик, фабрика

Уникалните карбидни покрития на VeTek Semiconductor осигуряват превъзходна защита за графитни части в процеса на SiC епитаксия за обработка на взискателни полупроводникови и композитни полупроводникови материали. Резултатът е удължен живот на графитните компоненти, запазване на стехиометрията на реакцията, инхибиране на миграцията на примеси към епитаксия и приложения за растеж на кристали, което води до повишен добив и качество.

Нашите покрития от танталов карбид (TaC) защитават критичните компоненти на пещта и реактора при високи температури (до 2200°C) от горещ амоняк, водород, силициеви пари и разтопени метали. VeTek Semiconductor разполага с широка гама от възможности за обработка и измерване на графит, за да отговори на вашите персонализирани изисквания, така че можем да предложим платено покритие или пълна услуга, с нашия екип от експертни инженери, готови да проектират правилното решение за вас и вашето конкретно приложение .

Сложни полупроводникови кристали

VeTek Semiconductor може да осигури специални TaC покрития за различни компоненти и носители. Чрез водещия в индустрията процес на нанасяне на покритие на VeTek Semiconductor, покритието TaC може да получи висока чистота, стабилност при висока температура и висока химическа устойчивост, като по този начин подобрява качеството на продукта на кристалните слоеве TaC/GaN) и EPL и удължава живота на критичните компоненти на реактора.

Топлоизолатори

Компоненти за растеж на кристали от SiC, GaN и AlN, включително тигели, зародишни държачи, дефлектори и филтри. Промишлени възли, включително резистивни нагревателни елементи, дюзи, екраниращи пръстени и приспособления за спояване, GaN и SiC епитаксиални CVD реакторни компоненти, включително носители на пластини, сателитни тави, душове, капачки и пиедестали, MOCVD компоненти.

Предназначение:

LED (светлоизлъчващ диод) вафлен носител

ALD (полупроводников) приемник

EPI рецептор (процес на епитаксия на SiC)

Satellite Susceptor с покритие от TaC TaC Coating Suceptor&Ring Части с покритие TaC Части Halfmoon с TaC покритие

Сравнение на SiC покритие и TaC покритие:

	SiC	TaC
Основните функции	Изключително висока чистота, отлична устойчивост на плазма	Отлична стабилност при висока температура (съответствие на процеса при висока температура)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Плътност (g/cm3)	3.21	15
Твърдост (kg/mm2)	2900-3300	6.7-7.2
Съпротивление [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Топлопроводимост (W/m-K)	200-360	22
Коефициент на топлинно разширение (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Приложение	Полупроводниково оборудване Керамична приставка (фокусен пръстен, душ слушалка, манекен вафла)	SiC монокристален растеж, Epi, UV LED части за оборудване

View as

CVD TaC покритие

Покритието CVD TaC, предоставено от VeTek Semiconductor, е високоспециализиран компонент, проектиран специално за взискателни приложения. Със своите усъвършенствани функции и изключителна производителност, нашето покритие с CVD TaC покритие предлага няколко ключови предимства. Нашето покритие с CVD TaC покритие осигурява необходимата защита и производителност, необходими за успех. Очакваме с нетърпение да проучим потенциалното сътрудничество с вас!

Прочетете още Изпратете запитване

Планетарен токоприемник с покритие TaC

Planetary Susceptor с покритие VeTek Semiconductor'TaC е изключителен продукт за оборудване за епитаксия на Aixtron. Здравото TaC покритие осигурява отлична устойчивост на висока температура и химическа инертност. Тази уникална комбинация гарантира надеждна производителност и дълъг експлоатационен живот, дори и в взискателни среди. VeTek се ангажира да предоставя висококачествени продукти и да служи като дългосрочен партньор на китайския пазар с конкурентни цени.

Прочетете още Изпратете запитване

Поддържаща плоча за пиедестал с покритие TaC

Поддържащата плоча с покритие TaC на VeTek Semiconductor е продукт с висока точност, проектиран да отговаря на специфичните изисквания на процесите на епитаксия на полупроводници. Със своето TaC покритие, устойчивост на висока температура и химическа инертност, нашият продукт ви дава възможност да произвеждате висококачествени EPI слоеве с високо качество. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Прочетете още Изпратете запитване

Патронник за покритие TaC

Патронникът за TaC покритие на VeTek Semiconductor разполага с висококачествено TaC покритие, известно със своята изключителна устойчивост на висока температура и химическа инертност, особено в процесите на епитаксия (EPI) със силициев карбид (SiC). Със своите изключителни характеристики и превъзходна производителност, нашият патронник с покритие TaC предлага няколко ключови предимства. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Прочетете още Изпратете запитване

LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon от VeTek Semiconductor, революционен продукт, предназначен да подобри процесите на SiC епитаксия в LPE реактор. Това авангардно решение може да се похвали с няколко ключови характеристики, които гарантират превъзходна производителност и ефективност във вашите производствени операции. Очакваме с нетърпение да установим дългосрочно сътрудничество с вас.

Прочетете още Изпратете запитване

Полумесец с покритие от танталов карбид TaC

VeTek Semiconductor е водещият производител и доставчик в Китай на Halfmoon с покритие от танталов карбид TaC, ние сме специализирани в научноизследователска и развойна дейност и производство, можем да контролираме добре качеството и да предложим конкурентна цена. Добре дошли сте да посетите нашата фабрика за по-нататъшно обсъждане на дългосрочно сътрудничество.

Прочетете още Изпратете запитване

<...3 4 5 6 7 >

Като професионален Процес на епитаксия на SiC производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Процес на епитаксия на SiC, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.