Китай Процес на епитаксия на SiC Производител, доставчик, фабрика

Уникалните карбидни покрития на VeTek Semiconductor осигуряват превъзходна защита за графитни части в процеса на SiC епитаксия за обработка на взискателни полупроводникови и композитни полупроводникови материали. Резултатът е удължен живот на графитните компоненти, запазване на стехиометрията на реакцията, инхибиране на миграцията на примеси към епитаксия и приложения за растеж на кристали, което води до повишен добив и качество.

Нашите покрития от танталов карбид (TaC) защитават критичните компоненти на пещта и реактора при високи температури (до 2200°C) от горещ амоняк, водород, силициеви пари и разтопени метали. VeTek Semiconductor разполага с широка гама от възможности за обработка и измерване на графит, за да отговори на вашите персонализирани изисквания, така че можем да предложим платено покритие или пълна услуга, с нашия екип от експертни инженери, готови да проектират правилното решение за вас и вашето конкретно приложение .

Сложни полупроводникови кристали

VeTek Semiconductor може да осигури специални TaC покрития за различни компоненти и носители. Чрез водещия в индустрията процес на нанасяне на покритие на VeTek Semiconductor, покритието TaC може да получи висока чистота, стабилност при висока температура и висока химическа устойчивост, като по този начин подобрява качеството на продукта на кристалните слоеве TaC/GaN) и EPL и удължава живота на критичните компоненти на реактора.

Топлоизолатори

Компоненти за растеж на кристали от SiC, GaN и AlN, включително тигели, зародишни държачи, дефлектори и филтри. Промишлени възли, включително резистивни нагревателни елементи, дюзи, екраниращи пръстени и приспособления за спояване, GaN и SiC епитаксиални CVD реакторни компоненти, включително носители на пластини, сателитни тави, душове, капачки и пиедестали, MOCVD компоненти.

Предназначение:

LED (светлоизлъчващ диод) вафлен носител

ALD (полупроводников) приемник

EPI рецептор (процес на епитаксия на SiC)

Satellite Susceptor с покритие от TaC TaC Coating Suceptor&Ring Части с покритие TaC Части Halfmoon с TaC покритие

Сравнение на SiC покритие и TaC покритие:

	SiC	TaC
Основните функции	Изключително висока чистота, отлична устойчивост на плазма	Отлична стабилност при висока температура (съответствие на процеса при висока температура)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Плътност (g/cm3)	3.21	15
Твърдост (kg/mm2)	2900-3300	6.7-7.2
Съпротивление [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Топлопроводимост (W/m-K)	200-360	22
Коефициент на топлинно разширение (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Приложение	Полупроводниково оборудване Керамична приставка (фокусен пръстен, душ слушалка, манекен вафла)	SiC монокристален растеж, Epi, UV LED части за оборудване

View as

TaC нагревател за покритие

VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор на TaC Coating Heater в Китай. Този продукт има изключително висока точка на топене (около 3880°C). Високата точка на топене на TaC Coating Heater му позволява да работи при изключително високи температури, особено при растежа на епитаксиални слоеве от галиев нитрид (GaN) в процеса на металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD). VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Прочетете още Изпратете запитване

Патронник с TaC покритие

Като професионален производител и доставчик на патронници с TaC покритие в Китай, патронниците с TaC покритие на VeTek Semiconductor са специално проектирани за полупроводникови пещи. Със своята устойчивост на висока температура, химическа инертност и отлична производителност, иновативната технология на Vetek Semiconductor осигурява надеждно решение за индустрията за производство на полупроводници за осигуряване на висококачествени производствени стандарти. Ние вярваме, че нашите продукти могат да ви донесат напреднали технологии и висококачествени продуктови решения.

Прочетете още Изпратете запитване

Тръба с покритие TaC

Като професионален производител и доставчик на тръби с покритие от TaC в Китай, тръбата с покритие от TaC на VeTek Semiconductor е ключов компонент за успешното израстване на монокристали от силициев карбид. Със своята устойчивост на висока температура, химическа инертност и отлична производителност, той осигурява производството на висококачествени кристали с постоянни резултати. Доверете се на нашите иновативни решения, за да подобрите процеса на растеж на кристали от SiC чрез PVT метод и да постигнете отлични резултати. Добре дошли да ни изпратите запитване.

Прочетете още Изпратете запитване

CVD TAC покритие

VeTek Semiconductor е водещ производител, иноватор и лидер на CVD TAC Coating в Китай. В продължение на много години ние се фокусираме върху различни продукти за CVD TAC покритие, като CVD TaC покритие, пръстен за CVD TaC покритие, носител за CVD TaC покритие и т.н. консултация.

Прочетете още Изпратете запитване

Резервна част за покритие TaC

VeTek Semiconductor е професионален производител на плоча с покритие TaC и други резервни части за покритие TaC в Китай. Понастоящем TaC покритието се използва главно в процеси като растеж на монокристали от силициев карбид (PVT метод), епитаксиален диск (включително епитаксия от силициев карбид, LED епитаксия) и т.н. В комбинация с добрата дългосрочна стабилност на TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Покриващата плоча се превърна в еталон за резервни части за TaC покритие. Очакваме с нетърпение да станете наш дългосрочен партньор.

Прочетете още Изпратете запитване

GaN върху SiC епи акцептор

VeTek Semiconductor е професионален производител на GaN върху SiC епи-приемник, CVD SiC покритие и CVD TAC COATING графитен ток-приемник в Китай. Сред тях GaN върху SiC епиприемник играе жизненоважна роля в обработката на полупроводници. Чрез отличната си топлопроводимост, способност за обработка при висока температура и химическа стабилност, той осигурява висока ефективност и качество на материала на процеса на епитаксиален растеж на GaN. Искрено очакваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете още Изпратете запитване

<1 2 3 4 5...7 >

Като професионален Процес на епитаксия на SiC производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Процес на епитаксия на SiC, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.