Китай Процес на епитаксия на SiC Производител, доставчик, фабрика

Уникалните карбидни покрития на VeTek Semiconductor осигуряват превъзходна защита за графитни части в процеса на SiC епитаксия за обработка на взискателни полупроводникови и композитни полупроводникови материали. Резултатът е удължен живот на графитните компоненти, запазване на стехиометрията на реакцията, инхибиране на миграцията на примеси към епитаксия и приложения за растеж на кристали, което води до повишен добив и качество.

Нашите покрития от танталов карбид (TaC) защитават критичните компоненти на пещта и реактора при високи температури (до 2200°C) от горещ амоняк, водород, силициеви пари и разтопени метали. VeTek Semiconductor разполага с широка гама от възможности за обработка и измерване на графит, за да отговори на вашите персонализирани изисквания, така че можем да предложим платено покритие или пълна услуга, с нашия екип от експертни инженери, готови да проектират правилното решение за вас и вашето конкретно приложение .

Сложни полупроводникови кристали

VeTek Semiconductor може да осигури специални TaC покрития за различни компоненти и носители. Чрез водещия в индустрията процес на нанасяне на покритие на VeTek Semiconductor, покритието TaC може да получи висока чистота, стабилност при висока температура и висока химическа устойчивост, като по този начин подобрява качеството на продукта на кристалните слоеве TaC/GaN) и EPL и удължава живота на критичните компоненти на реактора.

Топлоизолатори

Компоненти за растеж на кристали от SiC, GaN и AlN, включително тигели, зародишни държачи, дефлектори и филтри. Промишлени възли, включително резистивни нагревателни елементи, дюзи, екраниращи пръстени и приспособления за спояване, GaN и SiC епитаксиални CVD реакторни компоненти, включително носители на пластини, сателитни тави, душове, капачки и пиедестали, MOCVD компоненти.

Предназначение:

LED (светлоизлъчващ диод) вафлен носител

ALD (полупроводников) приемник

EPI рецептор (процес на епитаксия на SiC)

Satellite Susceptor с покритие от TaC TaC Coating Suceptor&Ring Части с покритие TaC Части Halfmoon с TaC покритие

Сравнение на SiC покритие и TaC покритие:

	SiC	TaC
Основните функции	Изключително висока чистота, отлична устойчивост на плазма	Отлична стабилност при висока температура (съответствие на процеса при висока температура)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Плътност (g/cm3)	3.21	15
Твърдост (kg/mm2)	2900-3300	6.7-7.2
Съпротивление [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Топлопроводимост (W/m-K)	200-360	22
Коефициент на топлинно разширение (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Приложение	Полупроводниково оборудване Керамична приставка (фокусен пръстен, душ слушалка, манекен вафла)	SiC монокристален растеж, Epi, UV LED части за оборудване

View as

Пръстен от танталов карбид

Като усъвършенстван производител и производител на продукти от танталов карбид пръстен в Китай, VeTek Semiconductor танталов карбид пръстен има изключително висока твърдост, устойчивост на износване, устойчивост на висока температура и химическа стабилност и се използва широко в областта на производството на полупроводници. Особено при CVD, PVD, процес на йонна имплантация, процес на ецване и обработка и транспортиране на пластини, той е незаменим продукт за обработка и производство на полупроводници. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете още Изпратете запитване

Подложка за покритие от танталов карбид

Като професионален производител на продукти за поддръжка на танталов карбид и фабрика в Китай, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support обикновено се използва за повърхностно покритие на структурни компоненти или поддържащи компоненти в полупроводниково оборудване, особено за повърхностна защита на ключови компоненти на оборудването в производствени процеси на полупроводници, като напр. CVD и PVD. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете още Изпратете запитване

Водещ пръстен от танталов карбид

VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на продукти с водещи пръстени от танталов карбид в Китай. Нашият водещ пръстен от танталов карбид (TaC) е пръстеновиден компонент с висока производителност, изработен от танталов карбид, който обикновено се използва в оборудване за обработка на полупроводници, особено при висока температура и силно корозивни среди като CVD, PVD, ецване и дифузия. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя напреднали технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия и приветства вашите допълнителни запитвания.

Прочетете още Изпратете запитване

TaC Coating Rotation Susceptor

Като професионален производител, новатор и лидер на TaC Coating Rotation Susceptor продукти в Китай. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor обикновено се инсталира в оборудване за химическо отлагане на пари (CVD) и епитаксия с молекулярни лъчи (MBE), за да поддържа и върти пластини, за да осигури равномерно отлагане на материала и ефективна реакция. Това е ключов компонент в обработката на полупроводници. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете още Изпратете запитване

CVD TaC тигел за покритие

VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на CVD TaC Coating Crucible продукти в Китай. CVD TaC Coating Crucible е базиран на покритие от танталов въглерод (TaC). Танталовото въглеродно покритие е равномерно покрито върху повърхността на тигела чрез процес на химическо отлагане на пари (CVD), за да се повиши неговата топлоустойчивост и устойчивост на корозия. Това е материален инструмент, използван специално в екстремни среди с висока температура. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Прочетете още Изпратете запитване

CVD TaC покритие Вафлен носител

Като професионален производител на CVD TaC Coating Wafer Carrier продукт и фабрика в Китай, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier е инструмент за носене на вафли, специално проектиран за висока температура и корозивни среди в производството на полупроводници. и CVD TaC Coating Wafer Carrier има висока механична якост, отлична устойчивост на корозия и термична стабилност, осигурявайки необходимата гаранция за производство на висококачествени полупроводникови устройства. Вашите допълнителни запитвания са добре дошли.

Прочетете още Изпратете запитване

<1 2 3 4 5...7 >

Като професионален Процес на епитаксия на SiC производител и доставчик в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, които да отговарят на специфичните нужди на вашия регион, или искате да купите усъвършенствани и издръжливи Процес на епитаксия на SiC, произведени в Китай, можете да ни оставите съобщение.