Нагревател VEECO MOCVD

Нагревателят VEECO MOCVD на VeTeksemi е изработен от графитен материал с висока чистота със съдържание на примеси, строго контролирано под 5 ppm, и е покрит със силициев карбид с ултрависока чистота (SiC) с чистота над 99,99995% презпроцес на химическо отлагане на пари (CVD).. Тази комбинация от материали дава на нагревателя серия от ключови свойства, които гарантират отличното му представяне вметалоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD)процес.

Една от изключителните характеристики на нагревателя VEECO MOCVD е неговата изключителна химическа чистота. Графитното ядро ​​с висока чистота значително намалява потенциалното въвеждане на замърсители при високотемпературния процес, осигурявайки ултра-чист процес на отлагане на филм. TheCVD SiC покритиеосигурява допълнителна защита за нагревателя, образувайки здрава бариера за предотвратяване на химически реакции, които могат да повредят качеството на филма. Тази несравнима чистота е от съществено значение за производството на високопроизводителни, надеждни полупроводникови устройства.

В същото време нагревателят показва изключително висока термична стабилност и ефективност. SiC има висока точка на топене и отлична топлопроводимост, което позволява на нагревателя ефективно да управлява и провежда топлина. Това осигурява равномерно нагряване на субстрата, което от своя страна спомага за постигане на равномерно отлагане на филм и намаляване на дефектите, причинени от термични градиенти. Такава термична ефективност е особено важна за прецизното производство.

Нагревателят VEECO MOCVD също се отличава с електрически характеристики. Неговото графитно ядро ​​с висока чистота има отлична електрическа проводимост, което позволява на нагревателя да се справи с високи изисквания за електрически товар. Тази стабилна електрическа производителност позволява на нагревателя да поддържа прецизен температурен контрол и скорост на отлагане при условия на високо натоварване, което е критично за осигуряване на постоянни условия на процеса и подобряване на ефективността на производството на полупроводници.

Дизайнът на повърхността на нагревателя е внимателно оптимизиран, за да има висока излъчвателна способност на субстрата, което значително подобрява ефективността на радиационния топлопренос. Способността за равномерно нагряване е ключов фактор за осигуряване на постоянна дебелина и характеристики на отлагането на филма. Конструкцията на повърхността с висока емисионност също така подобрява цялостната топлинна ефективност на нагревателя, като по този начин намалява консумацията на енергия и понижава оперативните разходи.

По отношение на издръжливостта, нагревателят VEECO MOCVD на VeTeksemi показва отлична устойчивост на корозия, устойчивост на окисляване и механична якост. CVD SiC покритието осигурява солидна бариера за корозивните газове и химикали, често срещани в MOCVD процесите, като по този начин удължава живота на оборудването и намалява нуждите от поддръжка и разходите за подмяна. Неговата устойчивост на окисляване гарантира, че нагревателят остава стабилен при високи температури без влошаване на производителността, осигурявайки дългосрочна стабилност.

В допълнение, високата механична якост на MOCVD нагревателя на VeTeksemi му позволява да издържи на физическите напрежения, генерирани по време на термичния цикъл и обработката на субстрата. Неговата здравина намалява риска от механична повреда и осигурява надеждна работа на оборудването при тежки условия на процеса.

Като усъвършенстван производител и доставчик на нагревателни продукти VEECO MOCVD, VeTeksemi също така предоставя разнообразие от висококачествени нагревателни продукти като напр.TaC нагревател за покритие, графитен нагревател с керамично покритие от силициев карбид, нагревател с керамично покритие от силициев карбиди т.н. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани и адаптивни технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Искрено се надяваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.