VeTek Semiconductor е водещ производител и иноватор на SiC душ глава в Китай. Специализирани сме в SiC материал от много години. SiC душ глава е избрана като материал за фокусиращ пръстен поради отличната си термохимична стабилност, висока механична якост и устойчивост на плазмена ерозия Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Можете да бъдете спокойни, че ще закупите SiC душ слушалка от нашата фабрика.
Материалите от силициев карбид имат уникална комбинация от отлични термични, електрически и химични свойства, което ги прави идеални за приложения в полупроводниковата индустрия, където се изискват материали с висока производителност.
Революционната технология на VeTek Semiconductor позволява производството на SiC Shower Head, силициев карбид със свръхвисока чистота, създаден чрез процеса на химическо отлагане на пари.
Душ слушалката SiC е ключов компонент в производството на полупроводници, специално проектирана за MOCVD системи, силициева епитаксия и процеси на SiC епитаксия. Изработен от здрав твърд силициев карбид (SiC), този компонент може да издържи на екстремни условия на плазмена обработка и приложения при висока температура.
Силициевият карбид (SiC) е известен със своята висока топлопроводимост, устойчивост на химическа корозия и изключителна механична якост, което го прави идеален материал за насипни SiC компоненти като SiC душ слушалка. Главата за газов душ осигурява равномерно разпределение на технологичните газове върху повърхността на пластината, което е от съществено значение за производството на висококачествени епитаксиални слоеве. Фокусните пръстени и ръбовите пръстени, често направени от CVD-SiC, поддържат равномерно разпределение на плазмата и предпазват камерата от замърсяване, повишавайки ефективността и добива на епитаксиален растеж.
Със своя прецизен контрол на газовия поток и изключителни свойства на материала, SiC душ слушалката е ключов компонент в съвременната обработка на полупроводници, поддържайки усъвършенствани приложения в силициева епитаксия и SiC епитаксия.
VeTek Semiconductor предлага душ глава от синтерован силициев карбид с ниско съпротивление. Имаме способността да проектираме по поръчка и да доставяме усъвършенствани керамични материали, използвайки различни уникални възможности.
Физични свойства на твърдия SiC | |||
Плътност | 3.21 | g/cm3 | |
Електрическо съпротивление | 102 | Ω/см | |
Якост на огъване | 590 | MPa | (6000 kgf/cm2) |
Модул на Йънг | 450 | Общ успех | (6000kgf/mm2) |
Твърдост по Викерс | 26 | Общ успех | (2650 kgf/mm2) |
C.T.E. (RT-1000 ℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Топлопроводимост (RT) | 250 | W/mK |