VeTek Semiconductor е вашият иновативен партньор в областта на обработката на полупроводници. С нашето обширно портфолио от комбинации от материали от силициев карбид керамика от полупроводников клас, възможности за производство на компоненти и инженерни услуги за приложения, ние можем да ви помогнем да преодолеете значителни предизвикателства. Инженерно-техническа керамика от силициев карбид се прилага широко в полупроводниковата индустрия поради изключителните си характеристики на материала. Свръхчистата керамика от силициев карбид на VeTek Semiconductor се използва често през целия цикъл на производство и обработка на полупроводници.
VeTek Semiconductor предоставя инженерни керамични компоненти, специално проектирани за партидна дифузия и изисквания за LPCVD, включително:
• Прегради и държачи
• Инжектори
• Облицовки и технологични тръби
• Конзолни гребла от силициев карбид
• Вафлени лодки и постаменти
SiC конзолна гребло SiC технологични тръби Процесорна тръба от силициев карбид SiC вертикална вафлена лодка SiC хоризонтална вафлена лодка SiC хоризонтална квадратна вафлена лодка SiC LPCVD вафлена лодка Хоризонтална лодка от SiC SiC кръгла вафлена лодка
Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване, включително:
Фокусни пръстени
Дюзи
Щитове
Душове
Прозорци / капаци
Други персонализирани компоненти
VeTek Semiconductor предоставя усъвършенствани материални компоненти, пригодени за приложения при високотемпературна термична обработка в полупроводниковата индустрия. Тези приложения включват RTP, Epi процеси, дифузия, окисляване и отгряване. Нашата техническа керамика е проектирана да издържа на термични удари, осигурявайки надеждна и постоянна работа. С компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници могат да постигнат ефективна и висококачествена термична обработка, допринасяйки за цялостния успех на производството на полупроводници.
• Дифузори
• Изолатори
• Токоприемници
• Други термични компоненти по поръчка
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Имот | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Без съдържание на Si | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°С |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добър |
VeTek Semiconductor осигурява високопроизводителни SiC технологични тръби за производство на полупроводници. Нашите SiC процесни тръби се отличават с процеси на окисляване и дифузия. С превъзходно качество и майсторска изработка, тези тръби предлагат стабилност при висока температура и топлопроводимост за ефективна обработка на полупроводници. Ние предлагаме конкурентни цени и се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSiC Cantilever Paddle на VeTek Semiconductor е продукт с много висока производителност. Нашият SiC Contilever Paddle обикновено се използва в пещи за термична обработка за обработка и поддържане на силициеви пластини, химическо отлагане на пари (CVD) и други процеси на обработка в процесите на производство на полупроводници. Високата температурна стабилност и високата топлопроводимост на SiC материала осигуряват висока ефективност и надеждност в процеса на обработка на полупроводници. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай на лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ, с дългогодишен опит в научноизследователската и развойната дейност и производството, може да контролира добре качеството и да предложи конкурентна цена. Можете да бъдете спокойни, че ще закупите лодката за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ от нас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай за вафли от силициев карбид с покритие от SiC, с дългогодишен опит в научноизследователската и развойната дейност и производството, може да контролира добре качеството и да предложи конкурентна цена. Добре дошли за посещение на нашата фабрика и за по-нататъшно обсъждане на сътрудничеството.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКонзолната лопатка от силициев карбид на VeTek Semiconductor е важен компонент в процеса на производство на полупроводници, особено подходящ за дифузионни пещи или LPCVD пещи при високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Нашата конзолна гребло от силициев карбид е внимателно проектирана и произведена с отлична устойчивост на висока температура и механична якост и може безопасно и надеждно да транспортира пластини към технологичната тръба при тежки условия на процеса за различни високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier са важни компоненти в обработката на полупроводници, предназначени за безопасно задържане и транспортиране на деликатни силициеви пластини, играейки ключова роля във всички етапи на производството. Носачът за пластини от силициев карбид с висока чистота на VeTek Semiconductor е внимателно проектиран и произведен, за да осигури отлична производителност и надеждност. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени и ние с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване