VeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай на лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ, с дългогодишен опит в научноизследователската и развойната дейност и производството, може да контролира добре качеството и да предложи конкурентна цена. Можете да бъдете спокойни, че ще закупите лодката за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ от нас.
Висококачествена лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ се предлага от китайския производител VeTek Semiconductor. Купете лодка за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ, която е с високо качество директно от фабриката на ниска цена. Лодка за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ се използва в тръбите на пещта за зареждане и прехвърляне на пластини по време на високотемпературни обработки. Благодарение на отличните свойства на материалите от силициев карбид, като устойчивост на висока температура, устойчивост на химическа корозия и термична стабилност, те се използват широко в различни процеси на топлинна обработка като дифузия, окисление, CVD и отгряване.
1. Висока твърдост и устойчивост на износване: Силициевият карбид има твърдост, втора след диаманта, което го прави изключително устойчив на износване. Това позволява на лодките от силициев карбид да издържат на повтарящи се механични удари и триене, удължавайки експлоатационния им живот.
2. Устойчивост на висока температура: Силициевият карбид има точка на топене от 2730°C, което прави лодките от силициев карбид подходящи за среда с висока температура и различни производствени процеси на полупроводници, като високотемпературно окисление и дифузия.
3. Нисък коефициент на термично разширение: Силициевият карбид има нисък коефициент на термично разширение, което помага да се поддържа стабилността на размерите при високи температури, предотвратявайки деформация на лодката и влияе върху точността на обработка на пластини.
4. Добра химическа стабилност: Силициевият карбид е устойчив на повечето химикали и не реагира с обикновени киселинни и алкални разтвори, което гарантира безопасността и чистотата на пластините.
Можем да произвеждаме различни видове вафлени лодки от силициев карбид, като хоризонтални вафлени лодки, вертикални вафлени лодки и всякакви други персонализирани лодки.
Физични свойства на прекристализирания силициев карбид | |
Имот | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC | > 99,96% |
Безплатно Si съдържание | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°С |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добър |
Вафли от силициев карбид за хоризонтални пещи намират широко приложение в полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост:
Почистване и ецване на вафли
Дифузия и окисление
Галванопластика и ецване
Химическо механично полиране (CMP)
Топлинна обработка
Пренасяне и съхранение на вафли