VeTek Semiconductor е вашият иновативен партньор в областта на обработката на полупроводници. С нашето обширно портфолио от комбинации от материали от силициев карбид керамика от полупроводников клас, възможности за производство на компоненти и инженерни услуги за приложения, ние можем да ви помогнем да преодолеете значителни предизвикателства. Инженерно-техническа керамика от силициев карбид се прилага широко в полупроводниковата индустрия поради изключителните си характеристики на материала. Свръхчистата керамика от силициев карбид на VeTek Semiconductor се използва често през целия цикъл на производство и обработка на полупроводници.
VeTek Semiconductor предоставя инженерни керамични компоненти, специално проектирани за партидна дифузия и изисквания за LPCVD, включително:
• Прегради и държачи
• Инжектори
• Облицовки и технологични тръби
• Конзолни гребла от силициев карбид
• Вафлени лодки и постаменти
SiC конзолна гребло SiC технологични тръби Процесорна тръба от силициев карбид SiC вертикална вафлена лодка SiC хоризонтална вафлена лодка SiC хоризонтална квадратна вафлена лодка SiC LPCVD вафлена лодка Хоризонтална лодка от SiC SiC кръгла вафлена лодка
Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване, включително:
Фокусни пръстени
Дюзи
Щитове
Душове
Прозорци / капаци
Други персонализирани компоненти
VeTek Semiconductor предоставя усъвършенствани материални компоненти, пригодени за приложения при високотемпературна термична обработка в полупроводниковата индустрия. Тези приложения включват RTP, Epi процеси, дифузия, окисляване и отгряване. Нашата техническа керамика е проектирана да издържа на термични удари, осигурявайки надеждна и постоянна работа. С компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници могат да постигнат ефективна и висококачествена термична обработка, допринасяйки за цялостния успех на производството на полупроводници.
• Дифузори
• Изолатори
• Токоприемници
• Други термични компоненти по поръчка
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Имот | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Без съдържание на Si | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°С |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добър |
VeTek Semiconductor е водещ производител и новатор на конзолна гребло SiC с висока чистота в Китай. SiC конзолни лопатки с висока чистота обикновено се използват в полупроводникови дифузионни пещи като платформи за прехвърляне на вафли или товарене. VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКато професионален производител и доставчик на вертикална колонна вафлена лодка и пиедестал в Китай, вертикалната колонна вафлена лодка и пиедестал на Vetek Semiconductor е изработена от кварцови или силициево-въглеродни керамични (SiC) материали с висока чистота, с отлична устойчивост на висока температура, химическа стабилност и механична якост , и е незаменим основен компонент в процеса на производство на полупроводници. Добре дошли на вашата допълнителна консултация.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat е усъвършенствано оборудване за обработка на полупроводници. Продуктовата структура на Contiguous Wafer Boat е внимателно проектирана, за да осигури ефективна обработка и производство на прецизни вафли. Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя отлични технологични и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален китайски производител на пластини със силикон върху изолатор, планетарна основа ALD и графитна основа с покритие от TaC. Silicon On Insulator Wafer на VeTek Semiconductor е важен полупроводников субстратен материал и неговите отлични продуктови характеристики го карат да играе ключова роля в приложения с висока производителност, ниска мощност, висока интеграция и RF. Очакваме с нетърпение по-нататъшно сътрудничество с вас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеVeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик на направляващ пръстен с покритие от TaC, хоризонтален носител за пластини от SiC и фиксатори с покритие от SiC в Китай. Ние се ангажираме да предоставяме перфектна техническа поддръжка и върховни продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Добре дошли да се свържете с нас.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSiC Wafer Boat на VeTek Semiconductor е продукт с много висока производителност. Нашата SiC Wafer Boat обикновено се използва в дифузионни пещи за окисление на полупроводници, за да се гарантира, че температурата е равномерно разпределена върху пластината и да се подобри качеството на обработка на силициевата пластина. Високата температурна стабилност и високата топлопроводимост на SiC материалите осигуряват ефективна и надеждна обработка на полупроводници. Ние се ангажираме да предоставяме качествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване