Вафлена лодка от силициев карбид с SiC покритие

VeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай за вафли от силициев карбид с покритие от SiC, с дългогодишен опит в научноизследователската и развойната дейност и производството, може да контролира добре качеството и да предложи конкурентна цена. Добре дошли за посещение на нашата фабрика и за по-нататъшно обсъждане на сътрудничеството.

Изпратете запитване

Описание на продукта

VeTek Semiconductor е китайски производител и доставчик, който произвежда основно SiC покритие от силициев карбид с многогодишен опит. Надяваме се да изградим бизнес отношения с вас. Лодката за вафли от силициев карбид с покритие от SiC се използва в полупроводникови дифузионни пещи за пренасяне на вафли за различни високотемпературни процеси като имплантиране на йони, дифузия и отгряване. Може да осигури стабилна среда за вафлите, като гарантира равномерност на температурата и консистенция по време на обработката.

Пластинките от силициев карбид с покритие от SiC имат по-висока устойчивост на топлина и химическа стабилност, което им позволява да работят при по-високи температури и да осигуряват по-дълъг живот. В допълнение, те имат по-ниски скорости на изпаряване на материала и скорости на адсорбция на газ, което спомага за намаляване на въздействието на примесите върху обработката на пластини.

Можем да произвеждаме различни видове вафлени лодки от силициев карбид, като хоризонтални вафлени лодки, вертикални вафлени лодки и всякакви други персонализирани лодки.

Предимства на нашия силициев карбид с висока чистота:

1. Стабилност при висока температура

2. Химическа инертност

3. Ниско съдържание на примеси

4.Топлопроводимост

Физични свойства на рекристализирания силициев карбид

Физични свойства на прекристализирания силициев карбид
Имот	Типична стойност
Работна температура (°C)	1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)
Съдържание на SiC	> 99,96%
Безплатно Si съдържание	< 0,1%
Обемна плътност	2,60-2,70 g/cm3
Видима порьозност	< 16%
Сила на натиск	> 600 MPa
Якост на студено огъване	80-90 MPa (20°C)
Якост на горещо огъване	90-100 MPa (1400°C)
Термично разширение @1500°C	4,70 10-6/°С
Топлопроводимост @1200°C	23 W/m•K
Модул на еластичност	240 GPa
Устойчивост на термичен удар	Изключително добър

Цех за производство на полупроводници VeTek

Горещи маркери: Вафлена лодка от силициев карбид с SiC покритие, Китай, производител, доставчик, фабрика, персонализирана, купува, усъвършенствана, издръжлива, произведена в Китай