SiC конзолна гребло с висока чистота

SiC Contilever Paddle с висока чистота е ключов компонент, използван в оборудването за обработка на полупроводници. Продуктът е изработен от силициев карбид (SiC) с висока чистота. В комбинация с отличните си характеристики на висока чистота, висока термична стабилност и устойчивост на корозия, той се използва широко в процеси като прехвърляне на вафли, поддръжка и високотемпературна обработка, осигурявайки надеждна гаранция за осигуряване на точност на процеса и качество на продукта.

Като цяло, High Purity SiC Cantilever Paddle играе следните специфични роли в процеса на обработка на полупроводници:

Вафлен трансфер: SiC Contilever Paddle с висока чистота обикновено се използва като устройство за прехвърляне на вафли във високотемпературни дифузионни или окислителни пещи. Високата му твърдост го прави устойчив на износване и не се деформира лесно по време на продължителна употреба и може да гарантира, че пластината остава точно позиционирана по време на процеса на прехвърляне. В съчетание със своята устойчивост на висока температура и корозия, той може безопасно да прехвърля вафли във и извън тръбата на пещта в среда с висока температура, без да причинява замърсяване или повреда на вафлите.

Поддръжка на вафли: SiC материалът има нисък коефициент на топлинно разширение, което означава, че неговият размер се променя по-малко при промяна на температурата, което спомага за поддържането на прецизен контрол в процеса. При процесите на химическо отлагане на пари (CVD) или физическо отлагане на пари (PVD), SiC Contilever Paddle се използва за поддържане и фиксиране на пластината, за да се гарантира, че пластината остава стабилна и плоска по време на процеса на отлагане, като по този начин подобрява еднородността и качеството на филма .

Приложение на високотемпературни процеси: SiC Contilever Paddle има отлична термична стабилност и може да издържа на температури до 1600°C. Следователно този продукт се използва широко при високотемпературно отгряване, окисление, дифузия и други процеси.

Основни физични свойства на конзолна гребло SiC с висока чистота:

SiC конзолна гребло с висока чистотамагазини:

Преглед на индустриалната верига за епитаксия на полупроводникови чипове: