eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor е графитна тава, покрита с танталов карбид за епитаксиален растеж на силициев карбид за подобряване на качеството и производителността на пластините. VeTek е избран поради своята усъвършенствана технология за покритие и издръжливи решения, за да се осигурят отлични резултати от SiC епитаксия и удължен живот на приемника, приветстваме вашите допълнителни запитвания.
Спреторът на пластини с покритие VeTek Semiconductor TaC е ключов компонент, използван вМетално-органично химическо отлагане на пари (MOCVD)реактори заполупроводникови епитаксиални (epi) процеси. Тази специализирана кръгла основа е изработена от висококачествен графит и е покрита със слой от танталов карбид (TaC), който е добре известен с изключителните си термични и химични свойства.
Основната функция на TaC покритието е да подобри производителността и издръжливостта на приемника на пластината при тежките условия на производството на полупроводници. Танталният карбид е известен със своята твърдост, висока точка на топене и изключителна устойчивост на износване, което го прави идеалният защитен слой. Това покритие предпазва подлежащата графитна основа от корозивните химични реакции и механичните напрежения, които възникват вMOCVD реактори, удължаване на живота на оборудването и подобряване на надеждността.
По време на епитаксиалното израстване на полупроводникови материали, пластинчатият фиксатор с покритие от TaC играе жизненоважна роля, като осигурява прецизно отлагане на филм. Неговата устойчивост на високи температури и сурови химически среди е от решаващо значение за точното производство на полупроводникови устройства, което позволява на оборудването да функционира стабилно при взискателни условия на процеса.
Комбинацията от aграфитно ядроиTaC покритиеосигурява равномерно разпределение на топлината през приемника, което е от съществено значение за подобряване на повторяемостта и качеството на полупроводниковите слоеве, отглеждани по време на MOCVD процеса. Този усъвършенстван дизайн на материала не само осигурява издръжливост, но и отговаря на строгите изисквания на модерното производство на полупроводници за високопроизводителни електронни компоненти.
Като водещ доставчик и производител на пластинови приемници с покритие от TaC, VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя висококачествени технически решения за полупроводниковата индустрия. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен доверен партньор в Китай, предлагайки надеждни, персонализирани продукти.
VeTek Semiconductor TaC покрити магазини за приемници на пластини: