Пръстен с три венчелистчета с TaC покритие

VeTek Semiconductor е професионален китайски производител и доставчик на пръстен с три венчелистчета с покритие от TaC. Пръстенът с три венчелистчета с покритие от TaC се използва в система за отлагане на Aixtron G10 за комбинирани полупроводници, G10-GaN 150/200 mm висока пропускателна способност за епитаксия за GaN мощност и RF приложения.

Покритието VeTek Semiconductor TaC е ново поколение устойчив на висока температура материал, с по-добра устойчивост на висока температура от SiC, като покритие, устойчиво на корозия, устойчиво на окисляване, устойчиво на износване покритие, може да се използва в среда над 2000 ℃, широко използвано в аерокосмически свръхвисокотемпературни горещи крайни части, трето поколение полупроводников монокристален растеж и други области.

Характеристики на продукта:

1. Висока чистота, съдържание на примеси < 5ppm

2. Устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, висока плътност, висока плътност

3. Той е химически инертен към амоняк, водород, силан и силиций при висока температура и има добра термична стабилност.

4. Устойчивост на термичен удар, може да ускори работния цикъл

5. Силната графитна адхезия осигурява дълъг експлоатационен живот и липса на разслояване на покритието.

6. Строги толеранси на размерите.

Основни приложения:

1. Епитаксиален растеж

2. Растеж на монокристал

3. Отклоняване на корозия при висока температура

4. Дюза, устойчива на висока температура и окисление

5. Лопатки на газови турбини

Продуктов параметър на пръстена с три венчелистчета с покритие TaC

Цех за производство на полупроводници VeTek